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크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법

  • 기술번호 : KST2014051330
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 크롬질화물(CrN) 박막단위체와 티타늄 알루미늄 질화물(TiAlN) 박막단위체로 이루어진 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 질소(N2) 가스와 아르곤(Ar) 가스가 유입되는 조건하에서, 크롬(Cr)원자를 물리증착하여 크롬질화물(CrN) 박막단위체를 형성하고, 상기 박막단위체 상부에 티타늄(Ti)과 알루미늄(Al) 원자를 물리증착하여 티타늄 알루미늄 질화물(TiAlN) 박막단위체를 형성하는 과정을 교대로 반복 증착을 실시하여 수행함으로써, N2/Ar 가스의 부피비와 크롬질화물(CrN) 박막단위체 형성을 위한 크롬(Cr)원자의 증착 과정에서 N/Cr의 원자수 비 등이 비교적 넓은 범위로 유지되더라도 제조되는 금속질화물 나노박막의 경도 또는 마찰계수가 크게 변동되지 않으므로 균일한 물성의 금속질화물 나노박막을 재현성 있게 제조할 수 있어 제품안정성, 내마모 및 윤활 특성이 요구되는 각종 기계, 전기, 전자 부품 등의 대량 생산이 요구되는 분야에 적용 가능한 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법에 관한 것이다. 질소, 아르곤 가스, 크롬질화물(CrN) 박막단위체, 티타늄 알루미늄 질화물(TiAlN) 박막단위체, 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막
Int. CL B82Y 30/00 (2011.01) C23C 30/00 (2011.01) C23C 14/34 (2011.01) C23C 28/02 (2011.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020040105086 (2004.12.13)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0633083-0000 (2006.09.29)
공개번호/일자 10-2006-0066470 (2006.06.16) 문서열기
공고번호/일자 (20061011) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.13)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박종극 대한민국 서울 영등포구
2 백영준 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.12.13 수리 (Accepted) 1-1-2004-0586808-92
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2006.03.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2006.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2006-0021370-78
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0221256-00
5 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.06.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0431237-11
6 의견서
Written Opinion		 2006.06.20 수리 (Accepted) 1-1-2006-0431239-02
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0548659-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
질소(N2) 가스와 아르곤(Ar) 가스가 유입되는 조건하에서, 크롬(Cr)원자를 물리증착하여 N/Cr의 원자수 비가 0
2 2
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3 3
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4 4
제 1 항에 있어서, 상기 Al/Ti의 원자비가 20 ∼ 100/0 ∼ 80 원자%를 유지하는 것을 특징으로 하는 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법
5 5
삭제
6 6
제 1 항에 있어서, 상기 티타늄 알루미늄 질화물(TiAlN) 박막단위체는,주기율표상의 Ⅳ-A족 금속의 질화물 또는 탄화물의 금속박막층이 추가로 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법
7 6
제 1 항에 있어서, 상기 티타늄 알루미늄 질화물(TiAlN) 박막단위체는,주기율표상의 Ⅳ-A족 금속의 질화물 또는 탄화물의 금속박막층이 추가로 적층되어 이루어진 것을 특징으로 하는 크롬질화물계 다층 금속질화물 나노박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.