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내산화성 및 내마모성이 우수한 ＴｉＡｌＮ계 다층 경질박막

  • 기술번호 : KST2014051332
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내산화성 및 내마모성이 우수한 TiAlN계 다층 경질박막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 Al 함량이 서로 다른 TiAlN 막이 다층으로 적층되어 경도 값이 40 GPa 이상으로 조절된 초경도의 단위층(A)과, Al 함량이 70% 이상으로 높아 내산화성이 뛰어난 TiAlN 막이 단층으로 적층된 25 ∼ 30 GPa 경도의 단위층(B)이 일정 두께 비율로 반복적으로 적층된 층 구조를 이루고 있음으로써, 내마모성과 내산화성을 동시에 증진시킴은 물론 기존 피복 코팅박막에 비해 높은 경도 값을 갖는 새로운 미세구조의 TiAlN계 다층 경질박막에 관한 것이다. 복합 적층 박막, TiAlN, 경도, 내산화성, 내마모성
Int. CL C23C 14/35 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020040104422 (2004.12.10)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0626406-0000 (2006.09.13)
공개번호/일자 10-2006-0065321 (2006.06.14) 문서열기
공고번호/일자 (20060921) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.12.10)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 백영준 대한민국 서울 노원구
2 박종극 대한민국 서울 영등포구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2004-0583838-36
2 보정요구서
Request for Amendment		 2004.12.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2004-0086295-68
3 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2004.12.27 수리 (Accepted) 1-1-2004-0614341-74
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2006.03.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0145945-88
5 의견서
Written Opinion		 2006.05.15 수리 (Accepted) 1-1-2006-0337256-95
6 명세서등보정서
Amendment to Description, etc.		 2006.05.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2006-0337255-49
7 등록결정서
Decision to grant		 2006.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0523568-34
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
1 1
TixAl1-xN(0≤x＜0
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 단위층(A)은 주기율표상의 Ⅳ-A족 원소의 질화물 또는 탄화물 박막이 추가로 적층된 것임을 특징으로 하는 TiAlN계 다층 경질박막
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 상기 단위층(A)을 구성하는 각 단일막의 두께가 수 nm인 것임을 특징으로 하는 TiAlN계 다층 경질박막
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 단위층(A)과 단위층(B)의 두께가 각각 수십 ∼ 수백 nm이고, 상기 단위층(A)과 단위층(B)이 반복 적층된 다층 경질박막의 전체 두께가 0
5 4
제 1 항에 있어서, 상기 단위층(A)과 단위층(B)의 두께가 각각 수십 ∼ 수백 nm이고, 상기 단위층(A)과 단위층(B)이 반복 적층된 다층 경질박막의 전체 두께가 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.