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일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법

  • 기술번호 : KST2014051390
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 초소형 3차원 수신안테나 어레이 구조의 일체형 적외선 이미지소자에 관한 것으로, MEMS의 여러 기술을 이용하여 3차원의 수신안테나 어레이 구조체를 형성한 후 이를 적외선 감지소자 어레이와 접합시켜 일체화된 형태의 적외선 이미지 감지소자를 제조함으로서 적외선 감지소자의 성능을 향상시킬 수 있는 일체형 적외선 이미지소자 및 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서, 자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와; 반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와; 상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자를 제시한다. 따라서, 본 발명은 기존의 마이크로웨이브 영역에서 사용되던 안테나들을 대체할 수 있으며, 고성능의 적외선 이미지소자 분야 및 마이크로 웨이브영역에서 사용되는 모든 초고주파 소자에도 적용할 수 있다. 적외선 이미지소자, 3차원 수신안테나, 혼안테나 어레이, MEMS
Int. CL H01L 27/146 (2006.01)
CPC H01L 27/14649(2013.01)
출원번호/일자 1020000023921 (2000.05.04)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자 10-0509580-0000 (2005.08.12)
공개번호/일자 10-2001-0100604 (2001.11.14) 문서열기
공고번호/일자 (20050822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2000.05.04)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문성욱 대한민국 서울특별시송파구
2 심태석 대한민국 서울특별시 서대문구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이종일 대한민국 서울특별시 영등포구 당산로**길 **(당산동*가) 진양빌딩 *층(대일국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2000.05.04 수리 (Accepted) 1-1-2000-0089975-80
2 신규성(출원시의특례)증명서류제출서
Submission of Certificate of Novelty(Special Provisions for Application)		 2000.05.08 수리 (Accepted) 1-1-2000-5131451-37
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2001.12.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2001-0375204-75
4 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.02.28 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0061703-14
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2002.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2002-0020822-81
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2002.08.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2002-0322111-31
7 의견서
Written Opinion		 2002.10.31 수리 (Accepted) 1-1-2002-0360202-21
8 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2002.10.31 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2002-0360203-77
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2003.04.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0163260-29
10 명세서 등 보정서 (심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2003.06.19 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2003-0004799-24
11 심사전치출원의 심사결과보고서
Notice of Result of Reexamination		 2003.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2003-0302814-96
12 등록결정서
Decision to grant		 2005.05.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2005-0229514-26
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.12.15 수리 (Accepted) 4-1-2009-5247056-16
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.19 수리 (Accepted) 4-1-2014-5022002-69
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번호 청구항
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일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서, 자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와; 반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와; 상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자
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일체형 적외선 이미지소자의 구조에 있어서, 자외선의 노광량을 정밀하게 조절하여 구조물에 균일한 경사를 줌으로서 형성된 혼 형태의 3차원 안테나 어레이와; 반도체기판 상에 형성된 적외선 감지소자와; 상기 적외선 감지소자 위에 3차원 안테나 어레이를 결합시킴으로서 지향성을 통해 불필요한 잡음 성분을 제거하며, 상기 3차원 안테나 어레이의 윗면적 만큼의 빛을 아래의 적외선 감지소자에서 동일하게 흡수하도록 하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자
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삭제
2 2
삭제
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 적외선 감지소자에는 혼 안테나, 피드미드형의 혼 안테나, 듀얼 모드형의 혼 안테나 중에 임의로 선택되는 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지 소자
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청구항 1에 있어서, 상기 적외선 감지소자에는 혼 안테나, 피드미드형의 혼 안테나, 듀얼 모드형의 혼 안테나 중에 임의로 선택되는 하나를 이용하는 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지 소자
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일체형 적외선 이미지소자의 제조방법에 있어서, 두꺼운 감광막의 두께와 노광량을 조절해서 3차원의 안테나 구조체를 형성하는 단계와; 상기 형성된 3차원의 안테나 구조체를 무전해 도금기술을 이용하여 금속막을 성장시켜 틀(master)을 형성하는 단계; 상기 형성된 틀에서 감광막을 제거함으로써 3차원 혼모양 수신안테나 어레이를 형성하는 단계; 및 상기 형성된 3차원 혼모양 수신안테나 어레이를 적외선 감지소자와 일체형이 되도록 정렬 접합하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
4 4
일체형 적외선 이미지소자의 제조방법에 있어서, 두꺼운 감광막의 두께와 노광량을 조절해서 3차원의 안테나 구조체를 형성하는 단계와; 상기 형성된 3차원의 안테나 구조체를 무전해 도금기술을 이용하여 금속막을 성장시켜 틀(master)을 형성하는 단계; 상기 형성된 틀에서 감광막을 제거함으로써 3차원 혼모양 수신안테나 어레이를 형성하는 단계; 및 상기 형성된 3차원 혼모양 수신안테나 어레이를 적외선 감지소자와 일체형이 되도록 정렬 접합하는 단계로 이루어진 것을 특징으로 하는 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 3차원 안테나 구조체는 일정 두께의 감광막에 노광량을 조절하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 3차원 안테나 구조체는 일정 두께의 감광막에 노광량을 조절하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
6 6
청구항 4에 있어서, 상기 3차원 혼모양 수신안테나 어레이는 스테레오 리소그래피 기술 또는 반응성 이온식각법(RIE)을 이용하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 3차원 혼모양 수신안테나 어레이는 스테레오 리소그래피 기술 또는 반응성 이온식각법(RIE)을 이용하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
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청구항 4에 있어서, 상기 3차원 혼모양 수신안테나 어레이는 스테레오 리소그래피 기술 또는 반응성 이온식각법(RIE)을 이용하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
7 6
청구항 4에 있어서, 상기 3차원 혼모양 수신안테나 어레이는 스테레오 리소그래피 기술 또는 반응성 이온식각법(RIE)을 이용하여 경사진 측면의 구조물을 갖도록 형성하는 것을 일체형 적외선 이미지소자의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.