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스퍼터링에 의하여 기판 위에 치밀하게 형성된 투광성 전도막과,상기 투광성 전도막 위에 형성된 전도성 보호층을 포함하며, 상기 전도성 보호층은 물을 함유하는 용매와, 규산염과, 금속이온첨가제가 혼합 건조된 조성물로 구성되는 것을 특징으로 하는투광성 전도막
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제1항에 있어서, 상기 용매는 알콜을 함유하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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제1항에 있어서, 상기 금속이온첨가제는 M은 금속, R은 탄소수가 1 내지 4개인 알킬기, y는 1 내지 4일 때, M(OR)4의 금속 알콕사이드 및 (CH3CO2)yM의 금속 아세테이트염 중에서 선택되는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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제3항에 있어서, 상기 M은 실리콘(Si), 인듐(In), 주석(Sn), 베릴륨(Be), 스트론튬(Sr), 란타늄(La), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 은(Ag), 금(Au), 코발트(Co), 철(Fe), 구리(Cu), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 이리듐(Ir), 세륨(Ce), 유로피움(Eu), 알루미늄(Al) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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제5항에 있어서, 상기 M의 중량%는 전도성 보호층을 구성하는 전체 조성물 대비 0
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제1항에 있어서, 상기 금속이온첨가제는 황화물, 질산염 및 염화물로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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제7항에 있어서, 상기 금속이온첨가제의 금속이온은 인듐(In), 주석(Sn), 베릴륨(Be), 스트론튬(Sr), 란타늄(La), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 은(Ag), 금(Au), 코발트(Co), 철(Fe), 구리(Cu), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 이리듐(Ir), 세륨(Ce) 및 유로피움(Eu)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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제1항에 있어서, β-카르보닐계열의 아세틸아세톤 또는 알카놀아민 계열의 에탄올 아민으로 된 안정제를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막
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기판 위에 스퍼터링에 의하여 치밀한 투광성 전도막을 형성하는 제1단계와,상기 투광성 전도막 위에 전도성 보호층을 형성하는 제2단계를 포함하며,상기 제2단계에서 전도성 보호층은 규산염을 물이 포함된 용매와 혼합하여 제1혼합액을 만드는 제 1혼합단계와;상기 제1혼합액과 금속이온첨가제를 함유하는 용액을 혼합하여 제 2혼합액을 만드는 제 2혼합단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 용매는 알콜을 함유하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제12항에 있어서, 상기 금속이온첨가제는 M은 금속, R은 탄소수가 1 내지 4개인 알킬기, y는 1 내지 4일 때, M(OR)4의 금속 알콕사이드 및 (CH3CO2)yM의 금속 아세테이트염 중에서 선택되는 적어도 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제14항에 있어서, 상기 M은 실리콘(Si), 인듐(In), 주석(Sn), 베릴륨(Be), 스트론튬(Sr), 란타늄(La), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 은(Ag), 금(Au), 코발트(Co), 철(Fe), 구리(Cu), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 이리듐(Ir), 세륨(Ce), 유로피움(Eu), 알루미늄(Al) 및 지르코늄(Zr)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제16항에 있어서, 상기 M의 중량%는 전도성 보호층을 구성하는 전체 조성물 대비 0
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제12항에 있어서, 상기 금속이온첨가제는 황화물, 질산염 및 염화물로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제18항에 있어서, 상기 금속이온첨가제의 금속이온은 인듐(In), 주석(Sn), 베릴륨(Be), 스트론튬(Sr), 란타늄(La), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크롬(Cr), 니켈(Ni), 은(Ag), 금(Au), 코발트(Co), 철(Fe), 구리(Cu), 아연(Zn), 안티몬(Sb), 이리듐(Ir), 세륨(Ce) 및 유로피움(Eu)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제12항에 있어서, β-카르보닐계열의 아세틸아세톤 또는 알카놀아민 계열의 에탄올 아민으로 된 안정제를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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제12항에 있어서, β-카르보닐계열의 아세틸아세톤 또는 알카놀아민 계열의 에탄올 아민으로 된 안정제를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 투광성 전도막의 제조방법
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