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반도체 기판;상기 반도체 기판 상면에 형성된 유전체 박막;상기 유전체 박막 상에 도전성 물질로 형성되며, 적어도 1회 이상 권선된 스파이럴(spiral) 패턴을 갖는 공면신호선로; 및상기 유전체 박막 상에 도전성 물질로 형성되며, 상기 공면신호선로를 양측으로 둘러싸는 형상을 갖는 제1 및 제2 공면접지선로를 포함하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서, 상기 유전체 박막은,SiO2, Al2O3, ZrO2, TiO2, BaTiO3 및 SrTiO3,로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유전체 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서, 상기 반도체 기판은,실리콘 기판 또는 GaAs 기판인 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제3항에 있어서, 상기 유전체 박막은,SiO2인 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서, 상기 공면신호선로는,Cu, Ag, Au, Fe, 퍼멀로이, Fe-Ni계 합금 및 Fe-Ni-Co 계 합금으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서, 상기 공면접지선로는,Cu, Ag, Au, Fe, 퍼멀로이, Fe-Ni계 합금 및 Fe-Ni-Co 계 합금으로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서,상기 공면신호선로의 상기 스파이럴 패턴 상부에 추가적으로 형성된 유전체층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제7항에 있어서, 상기 유전체층은,SiO2, Al2O3, ZrO2, TiO2, BaTiO3 및 SrTiO3,로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유전체 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제8항에 있어서,상기 유전체 박막과 상기 유전체층은 동일한 유전체 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제7항에 있어서,상기 유전체층 상면의 적어도 일부에 형성된 자성 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제10항에 있어서, 상기 자성 박막은,CoFe계 미세결정립 연자성 박막, Co계 미세결정립 연자성 박막, Fe계 미세결정립 연자성 박막, 퍼멀로이계 미세결정립 연자성 박막, Co-Nb-Zr 합금 연자성 박막, Fe계 합금 연자성 박막으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제1항에 있어서, 상기 공면신호선로는직선 형상의 제1 및 제2 신호 입출력 선로;상기 제1 신호 입출력 선로에 일단이 연결되며, 적어도 1회 이상 권선된 스파이럴 패턴을 갖는 인덕터 선로; 및상기 인덕터 선로의 타단과 상기 제2 신호 입출력 선로 사이를 전기적으로 연결하는 에어브릿지를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제12항에 있어서,상기 인덕터 선로 상부에 추가적으로 형성되며, 상기 에어브릿지가 통과하는 관통홀을 포함하는 유전체층을 포함하며,상기 에어브릿지의 적어도 일부는 상기 관통홀 내부 및 상기 유전체층의 상면에 형성된 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제13항에 있어서, 상기 유전체층은,SiO2, Al2O3, ZrO2, TiO2, BaTiO3 및 SrTiO3,로 구성된 그룹으로부터 선택된 적어도 하나의 유전체 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제14항에 있어서,상기 유전체 박막과 상기 유전체층은 동일한 유전체 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제13항에 있어서,상기 유전체층 상면의 적어도 일부에 형성된 자성 박막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제16항에 있어서, 상기 자성 박막은,상기 유전체층 상면의 상기 에어브릿지의 일부가 형성된 이외의 영역 중 적어도 일부에 형성된 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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제16항에 있어서, 상기 자성 박막은,CoFe계 미세결정립 연자성 박막, Co계 미세결정립 연자성 박막, Fe계 미세결정립 연자성 박막, 퍼멀로이계 미세결정립 연자성 박막, Co-Nb-Zr 합금 연자성 박막, Fe계 합금 연자성 박막으로 구성된 그룹으로부터 선택된 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 전자기 노이즈 필터
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