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전압을 인가하는 입력단;상기 전압을 차지 펌핑할 수 있도록, 적어도 하나의 펌핑 캐패시터 및 복수 개의 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 스위치를 포함하는 펌핑 회로;상기 펌핑 회로의 펌핑 캐패시터에 180도의 위상 차이를 가지는 복수 개의 클럭을 전달하는 클럭단; 및상기 펌핑 회로를 통해 승압된 전압을 출력하는 출력단을 포함하고,상기 적어도 하나의 펌핑 캐패시터는 제 1 펌핑 캐패시터, 제 2 펌핑 캐패시터를 포함하고,상기 복수 개의 MEMS 스위치는 상기 복수 개의 펌핑 캐패시터에 인가되는 전압을 스위칭하고,상기 복수 개의 MEMS 스위치는 제 1 MEMS 스위치, 제 2 MEMS 스위치 및 제 3 MEMS 스위치를 포함하고,상기 클럭단은 180도의 위상차를 가지는 제1클럭신호와, 제2클럭신호를 출력하고,상기 제 1 펌핑 캐패시터의 제1전극은 상기 제 1 MEMS 스위치의 게이트에 접속된 상태에서 상기 제1클럭신호가 입력되며, 상기 제 1 펌핑 캐패시터의 제2전극은 제 1 MEMS 스위치의 소스, 상기 제2 MEMS 스위치의 드레인, 상기 제 3 MEMS 스위치의 게이트와 접속되어 제1노드를 형성하는 전압변환회로
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제 1 항에 있어서,상기 클럭단은 상기 제 1 펌핑 캐패시터에 상기 입력단의 전압과 같은 크기의 진폭을 가지는 클럭을 출력하는 제 1 클럭 신호 출력단을 포함하는 전압변환회로
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제 1 항에 있어서,상기 클럭단은 상기 제 2 펌핑 캐패시터에 상기 입력단의 전압과 같은 크기의 진폭을 가지는 클럭을 출력하는 제2클럭신호 출력단을 포함하는 전압변환회로
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제 1 항에 있어서,상기 펌핑 회로와 상기 출력단 사이에 마련되며, 상기 펌핑 회로에서 출력되는 전압을 충전하여 리플이 제거된 상태로 출력하는 출력 캐패시터를 더 포함하는 전압변환회로
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인가되는 전압을 충전하여 저장하는 적어도 하나의 펌핑 캐패시터와, 상기 펌핑 캐패시터와 연결되어 스위칭하는 복수 개의 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 스위치와, 상기 펌핑 캐패시터와 연결된 노드에서 전압을 펌핑할 수 있도록 클럭을 인가하는 클럭단을 구비하는 펌핑 회로를 포함하고, 상기 적어도 하나의 펌핑 캐패시터는 제 1 펌핑 캐패시터, 제 2 펌핑 캐패시터를 포함하고,상기 복수 개의 MEMS 스위치는 상기 복수 개의 펌핑 캐패시터에 인가되는 전압을 스위칭하고,상기 복수 개의 MEMS 스위치는 제 1 MEMS 스위치, 제 2 MEMS 스위치 및 제 3 MEMS 스위치를 포함하고,상기 클럭단은 180도의 위상차를 가지는 제1클럭신호와, 제2클럭신호를 출력하고,상기 제 1 펌핑 캐패시터의 제1전극은 상기 제 1 MEMS 스위치의 게이트에 접속된 상태에서 상기 제1클럭신호가 입력되며, 상기 제 1 펌핑 캐패시터의 제2전극은 제 1 MEMS 스위치의 소스, 상기 제2 MEMS 스위치의 드레인, 상기 제 3 MEMS 스위치의 게이트와 접속되어 제1노드를 형성하는 전압변환회로
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제 7 항에 있어서,상기 펌핑 캐패시터에 저장되어 승압되는 전압을 출력하는 출력단을 더 포함하고, 상기 출력단과 상기 펌핑 회로 사이에는 상기 펌핑 회로를 통해 승압된 전압을 저장하고, 상기 출력단을 통해 리플을 제거한 전압을 출력하는 출력 캐패시터를 더 포함하는 전압변환회로
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제 7 항에 있어서,상기 제 1 MEMS 스위치와 상기 제 2 MEMS 스위치는 상기 제 1 클럭신호, 제 2클럭신호에 의해 각각 온/오프가 제어되며, 상기 제 3 MEMS 스위치는 상기 제 1 노드에 의해 온/오프가 제어되는 전압변환회로
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제 7 항에 있어서,상기 제 2 펌핑 캐패시터의 제1전극은 제 2 MEMS 스위치의 게이트에 접속된 상태에서 상기 제2클럭신호가 입력되고, 상기 제 2 펌핑 캐패시터의 제2전극은 상기 제 2 MEMS 스위치의 소스, 상기 제 3 MEMS 스위치의 드레인과 접속되어 제2노드를 형성하는 전압변환회로
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제 7 항에 있어서,상기 펌핑된 전압을 저장하여 출력하는 출력 캐패시터를 더 포함하고,상기 출력 캐패시터는 제1전극이 GND에 연결되고, 제2전극이 상기 제 3 MEMS 스위치의 소스와 접속되어 제3노드를 형성하는 전압변환회로
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