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둘레의 일측에 길이방향으로 전자빔 조사창이 형성된 진공챔버;
상기 진공챔버 내부 중심에 길이방향으로 구비되며, 상기 전자빔 조사창에 대응되는 일측에 전계방출팁이 형성된 음극;
상기 음극 상에 형성되며, 상기 전계방출팁을 표면에 노출시키는 공동이 형성된 절연막;
상기 절연막 상부에 형성된 게이트 전극;
상기 진공챔버에 구비되고, 상기 음극에 전압을 인가하는 음극 전압인가부; 및
상기 진공챔버에 구비되고, 상기 게이트 전극에 음 또는 양의 전압을 인가하는 게이트 전압인가부;
를 포함하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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2
제 1항에 있어서,
상기 진공챔버 또는 상기 전자빔 조사창은 접지 단자를 구비하는 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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3
제 1항에 있어서,
상기 음극은 원형 단면의 봉체이며, 상기 전자빔 조사창에 대응되는 상기 봉체의 외주면에 띠 형태의 전계방출팁이 길이 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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4
제 3항에 있어서,
상기 띠 형태의 전계방출팁은 단일한 상기 공동 내부에 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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5
제 4항에 있어서,
상기 전계방출팁은 상기 게이트 전극에 의해 둘러싸인 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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6
제 3항에 있어서,
상기 절연막은 다수의 공동이 형성된 망형이며, 상기 전계방출팁 상부에 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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7
제 6항에 있어서,
상기 게이트 전극은 상기 절연막의 다수의 공동에 각각 대응하는 다수의 공동이 형성된 망형인 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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8
제 1항에 있어서,
상기 음극은 원형 단면의 봉체이며, 상기 전자빔 조사창에 대응되는 상기 봉체의 외주면에 다수의 도트형의 전계방출팁이 길이 방향으로 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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9
제 8항에 있어서,
상기 절연막은 다수의 공동이 형성되며, 상기 다수의 도트형의 전계방출팁 각각이 상기 공동의 내부에 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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10
제 9항에 있어서,
상기 게이트 전극은 상기 절연막의 다수의 공동에 각각 대응하는 다수의 공동이 형성된 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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11
제 8항에 있어서,
상기 다수의 도트형의 전계방출팁은 6개의 최인접(nearest neighbor) 도트형의 전계방출팁으로 둘러싸여 허니컴(honeycomb) 구조를 이루는 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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12
제 1항에 있어서,
상기 절연막의 상기 공동은 상기 게이트 전극이 존재하는 상부의 단면적이 상기 음극이 존재하는 하부의 단면적보다 작은 것을 특징으로 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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13
제 12항에 있어서,
상기 절연막의 상기 공동의 측면은 상기 음극 표면의 수직 방향을 기준으로 4 내지 7도 기울어진 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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14
제 1항에 있어서,
상기 진공챔버는 원통형이며, 그 외주면에 상기 전자빔 조사창이 다수개 형성되며, 다수의 상기 전자빔 조사창 각각에 대응되는 상기 전계방출팁, 상기 절연막 및 상기 게이트 전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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15
제 14항에 있어서,
다수의 상기 전자빔 조사창 각각에 대응되는 다수의 게이트 전극은 동일한 게이트 전압인가부와 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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16
제 1항에 있어서,
상기 전계방출팁은 탄소나노튜브인 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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17
제 1항에 있어서,
상기 진공챔버의 양단부에 각각 일체로 형성된 고정플랜지;
상기 양단부의 고정플랜지 중 일측의 고정플랜지에 결합되고, 상기 음극 전압인가부를 구비하는 제 1 진공플랜지;
상기 양단부의 고정플랜지 중 타측의 고정플랜지에 결합되고, 상기 게이트 전압인가부를 구비하는 제 2 진공플랜지;
상기 음극의 일측단에 핀삽입공을 형성하고, 상기 음극 전압인가부의 일측에는 상기 음극 전압인가부의 접속핀이 관통하는 제 1 절연체를 구비하여 상기 제 1 절연체를 관통한 접속핀이 음극의 핀삽입공에 삽입되도록 구성된 제 1 지지부; 및
상기 음극의 타측단에 삽입돌부를 형성하여 상기 삽입돌부에 절연막 및 게이트 전극 금속막을 형성하고, 상기 게이트 전압인가부의 일측에는 상기 게이트 전압인가부의 접속핀이 관통하며 삽입홈이 형성된 제 2 절연체를 구비하여, 상기 삽입돌부가 상기 삽입홈에 삽입되어 상기 게이트 전극 금속막과 상기 게이트 전압인가부의 접속핀이 접속됨과 동시에 음극을 지지하는 제 2 지지부;
를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 3극형 대면적 전자빔 조사장치
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