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비스무스(Bi)를 성분으로 포함하는 마이크로 크기의 비스무스계 저융점 유리 분말 전구체를 마련하는 단계와;상기 유리 분말 전구체를 플라즈마 처리 장치의 반응관 내부로 주입하는 단계와;상기 반응관 내부로 주입되는 유리 분말 전구체에 직류전원에 의한 열플라즈마를 가하여 상기 유리 분말 전구체를 기화시키는 단계와;상기 유리 분말 전구체가 기화되어 생성된 기체를 급랭시켜 나노 크기를 갖는 나노 유리 분말을 생성하는 단계를 포함하여 이루어지는 나노 유리 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열플라즈마를 발생시키기 위하여 인가되는 전력은 6 내지 15kw인 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 생성된 나노 유리 분말이 환원되어 결정화되지 않도록 억제하여 비정질 구조를 보존해주는 보조가스를 상기 반응관 내부에 선택적으로 주입하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 보조가스는 산소가스인 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 유리 분말 전구체는 산화비스무스(BI2O3), 산화알루미늄(Al2O3), 산화붕소(B2O3)를 포함하며, RO(R은 알칼리 토금속) 및 MO(M은 전이금속) 중 적어도 한 종류의 성분을 추가적으로 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 반응관은 수냉식 이중관으로 제작되어 그 내벽에 상기 기화된 유리 분말 전구체의 기체가 접촉하여 급랭되면서 고형화된 나노 유리 분말이 형성되도록 한 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 열플라즈마를 생성하기 위한 플라즈마 생성가스로 아르곤가스를 사용하되, 상기 아르곤가스의 일부는 상기 유리 분말 전구체를 상기 반응관으로 운반하기 위한 운반가스로 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조방법
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제7항에 있어서,상기 아르곤가스에 질소가스를 혼합하여 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조방법
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제1항에 있어서,상기 생성되는 나노 유리 분말의 크기는 10 내지 60nm 인 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조방법
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제1항 내지 제9항 중 어느 한 항의 제조방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말
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내벽의 표면을 저온으로 유지할 수 있도록 냉각 기능을 갖는 반응관과;상기 반응관과 연통 설치된 프로세스 챔버와;상기 반응관과 연결되어 그 내부로 원료가 되는 유리 분말 전구체를 공급하는 파우더 공급기와;상기 반응관 내부로 공급되어 주입된 원료에 열플라즈마를 가하여 기화시키는 열플라즈마 발생기를 포함하여 이루어지며, 상기 파우더 공급기가 공급하는 원료는 비스무스(Bi)를 성분으로 포함하는 마이크로 크기의 비스무스계 유리 분말 전구체이며, 상기 유리 분말 전구체는 열플라즈마에 의하여 기체 상태로 기화된 후 상기 반응관 내벽과 접촉하면서 급랭되어 고형화된 나노 크기의 나노 유리 분말로 생성되도록 한 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제11항에 있어서,상기 열플라즈마 발생기는 직류전원을 사용하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제12항에 있어서,상기 열플라즈마를 발생시키기 위해 인가되는 전력은 6 내지 15kw인 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제11항에 있어서,상기 유리 분말 전구체는 산화비스무스(BI2O3), 산화알루미늄(Al2O3), 산화붕소(B2O3)를 포함하며, RO(R은 알칼리 토금속) 및 MO(M은 전이금속) 중 적어도 한 종류의 성분을 추가적으로 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제11항에 있어서,상기 생성된 나노 유리 분말이 환원되어 결정화되지 않도록 억제하여 비정질 구조를 보존해주는 보조가스를 상기 반응관에 선택적으로 공급할 수 있도록 한 보조가스 공급기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제15항에 있어서,상기 보조가스는 산소가스인 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제11항에 있어서,상기 반응관은 상기 냉각 기능을 갖기 위해 내부에 냉각수를 순환시키는 수냉식 이중관으로 구비된 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말의 제조장치
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제11항에 있어서,일부는 상기 열플라즈마를 생성하기 위한 플라즈마 생성가스로 사용하고, 일부는 상기 유리 분말 전구체를 운반하기 위한 운반가스로 사용할 수 있도록 상기 열플라즈마 발생기와 파우더 공급기에 각각 아르곤가스를 공급하는 아르곤가스 공급기를 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조장치
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제18항에 있어서,상기 아르곤가스에 질소가스를 혼합하여 사용할 수 있도록 질소가스 공급기를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 나노 유리 분말 제조장치
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