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셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치

  • 기술번호 : KST2014052182
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치에 관한 것으로서, 유독성을 가진 셀렌화수소(H2Se) 대신 독성이 적은 고체 셀레늄을 이용한 셀레늄 증기를 가열된 불활성 기체와 함께 주입하여 넓은 면적에서도 균일한 흡수층을 제조할 수 있도록 하는 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치를 제공함에 그 목적이 있다.이러한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명은, CIS계 박막 태양전지의 제작을 위하여 기판위에 셀렌화 공정으로 CIS계 흡수층을 형성하는 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치에 있어서, 기판을 셀렌화시키기 위하여 내부에 삽입 가능한 셀렌화 챔버; 및 셀레늄 증기와 불활성 기체를 각각 가열하여 셀렌화 챔버로 주입하는 소스 제조기; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
Int. CL H01L 31/18 (2014.01) H01L 31/04 (2014.01)
CPC H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01) H01L 31/18(2013.01)
출원번호/일자 1020110071001 (2011.07.18)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1237466-0000 (2013.02.20)
공개번호/일자 10-2013-0010291 (2013.01.28) 문서열기
공고번호/일자 (20130226) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.07.18)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고항주 대한민국 광주광역시 북구
2 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
3 한명수 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이우영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.07.18 수리 (Accepted) 1-1-2011-0551078-91
2 선행기술조사의뢰서(내부)
Request for Prior Art Search (Inside)		 2012.08.16 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0496238-56
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2012.08.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2012-0016086-56
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.10.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0860238-04
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.10.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0860237-58
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.02.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0107779-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
1 1
CIS계 박막 태양전지의 제작을 위하여 기판위에 셀렌화 공정으로 CIS계 흡수층을 형성하는 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치에 있어서,기판을 셀렌화시키기 위하여 내부에 삽입 가능한 셀렌화 챔버; 및셀레늄 증기와 불활성 기체를 각각 가열하여 셀렌화 챔버로 주입하는 소스 제조기; 를 포함하되,상기 소스 제조기는,셀레늄을 저장하고 가열하기 위한 도가니;상기 도가니를 둘러싸고 가열시키기 위한 도가니 가열부;불활성 기체를 셀렌화 챔버로 전송시키기 위한 기체통로;상기 기체통로를 통과하는 불활성 기체를 가열하기 위한 기체 가열부; 및상기 도가니 가열부와 상기 기체 가열부를 둘러싸고 냉각시키기 위한 냉각부; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 소스 제조기는 도가니 가열부와 기체 가열부 사이에 단열제를 포함하는 것을 특징으로 하는 셀렌화에 의한 광흡수층 제조장치
4 4
삭제
5 5
삭제
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.