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진공챔버의 벽면에 형성된 홀에 장착되고, 그 중앙부에서 케이블을 잡고 있는 케이블 홀더; 및상기 케이블 홀더의 외측에 장착되는 케이블 홀더 커버;를 포함하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 1 항에 있어서, 상기 케이블 홀더는, 한 쌍의 동일한 구조의 제 1 케이블 홀더와 제 2 케이블 홀더로 이루어져, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더가 서로 맞물면서 상기 케이블을 잡고 있는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 2 항에 있어서, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더가 서로 맞물릴 때, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더의 서로의 접촉면에 에폭시가 개재되는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 3 항에 있어서, 상기 케이블 홀더 커버의 내면, 또는 상기 케이블 홀더에는, 상기 케이블 홀더와 상기 케이블 홀더 커버의 내면 간의 진공도를 높이기 위한, 제 1 오링 홈이 형성되어 있으며, 상기 진공 월-쓰루 구조물은, 상기 제 1 오링 홈에 삽입되는 제 1 오링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 4 항에 있어서, 상기 케이블 홀더 커버에는, 상기 제 1 케이블 홀더의 제 1a 체결 구조 및 상기 제 2 케이블 홀더의 제 2a 체결 구조에 각각 체결되기 위한, 제 1b 체결 구조 및 제 2b 체결 구조를 대응되어 구비하여, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 케이블 홀더 커버, 및 상기 제 2 케이블 홀더와 상기 케이블 홀더 커버가 각각 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 5 항에 있어서, 상기 케이블 홀더 커버에는, 상기 진공챔버의 제 3a 체결 구조에 체결되기 위한, 제 3b 체결 구조를 대응되어 더 구비하여, 상기 진공챔버와 상기 케이블 홀더 커버가 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 6 항에 있어서, 상기 제 1a 체결 구조 및 상기 제 1b 체결 구조, 상기 제 2a 체결 구조 및 상기 2b 체결 구조의 인접 체결 구조간 거리가, 상기 제 3a 체결 구조 및 상기 제 3b 체결 구조의 인접 체결 구조간 거리보다 짧은 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 7 항에 있어서, 상기 케이블 홀더 커버의 내면 또는 상기 진공챔버의 벽면에는, 상기 진공챔버와 상기 케이블 홀더 커버의 내면 간의 진공도를 높이기 위한, 제 2 오링 홈이 형성되어 있으며, 상기 진공 월-쓰루 구조물은, 상기 제 2 오링 홈에 삽입되는 제 2 오링을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 8 항에 있어서, 상기 제 1 케이블 홀더는, 제 1a 결합홈과 제 1a 결합돌기를 갖고,상기 제 2 케이블 홀더는, 제 2a 결합홈과 제 2a 결합돌기를 가져, 상기 제 1a 결합홈과 상기 제 2a 결합돌기가 서로 결합되며, 상기 제 1a 결합돌기와 상기 제 2a 결합홈이 서로 결합되는 것을 특징으로 하는, 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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10
제 8 항에 있어서, 상기 제 1 케이블 홀더는, 상기 제 1 케이블 홀더의 측면에 형성한 제 1a 결합홀과 제 1b 결합홀을 갖고,상기 제 2 케이블 홀더는, 상기 제 2 케이블 홀더의 측면에 형성한 제 2a 결합홀과 제 2b 결합홀을 가져, 상기 제 1a 결합홀과 상기 제 2a 결합홀에 삽입되는 제 1 고정핀과,상기 제 1b 결합홀과 상기 제 2b 결합홀에 삽입되는 제 2 고정핀에 의하여 결합되는 것을 특징으로하는, 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 9 항 또는 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더는, 서로 결합하는 면이, 진공도를 높이기 위한 입체적인 구조를 가지는 것을 특징으로 하는, 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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제 4 항에 있어서, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더는, 상기 제 1 케이블 홀더와 상기 제 2 케이블 홀더 간의 경계선이 제 1 오링과 만나는 영역에서는 제 1 오링을 따라서 그 경계선이 이루어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는, 진공 월-쓰루(wall-through) 구조물
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