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광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기 및 이를 이용한 시료의 뮬러-행렬 측정 방법

  • 기술번호 : KST2014052432
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임의의 시료에 대한 뮬러 행렬 성분들 중에서 전부 또는 일부를 종래의 이중-광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기들의 광원의 잔류 편광 및 광검출기의 편광 의존성과 고차항의 푸리에 계수들의 측정값 때문에 생기는 측정 정확도 및 측정 정밀도의 문제점을 해결하기 위한 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 제공하고자 하는 것이다.
Int. CL G01N 21/17 (2006.01)
CPC G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01) G01N 21/211(2013.01)
출원번호/일자 1020130103738 (2013.08.30)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-1509054-0000 (2015.03.31)
공개번호/일자 10-2015-0025745 (2015.03.11) 문서열기
공고번호/일자 (20150407) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 발송처리완료
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2013.08.30)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조용재 대한민국 대전 유성구
2 제갈원 대한민국 대전 유성구
3 조현모 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.08.30 수리 (Accepted) 1-1-2013-0793495-05
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2014-5004381-25
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.03.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.04.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0026310-87
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2014.09.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0655586-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.11.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-1129049-72
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.11.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-1129059-28
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.01.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0005175-00
9 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.19 수리 (Accepted) 1-1-2015-5003341-28
10 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.02.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-5005371-34
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.02.23 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0174136-02
12 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.02.23 수리 (Accepted) 1-1-2015-0174150-31
13 등록결정서
Decision to grant		 2015.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0207870-06
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266627-88
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266645-00
16 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266640-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기에 있어서,시료를 향하여 입사광을 방사하는 광원;상기 입사광의 진행경로 상 상기 광원과 상기 시료 사이에 배치되며, 상기 광원에서 방사된 상기 입사광의 편광상태를 제어할 수 있는 편광 변조부;상기 입사광이 상기 편광 변조부를 통과하여 편광된 후 상기 시료에 의해 반사(또는 투과)되면서 편광상태가 변화된 반사광(또는 투과광)이 입사되며, 상기 반사광(또는 투과광)의 편광상태의 변화를 분석하기 위한 편광 해석부;상기 편광 해석부를 통과한 반사광(또는 투과광)이 입사되며 입사된 광의 세기를 전압 또는 전류와 같은 전기적 신호로 측정하는 광검출기; 상기 편광 변조부 또는 상기 편광 해석부에 복수개의 광소자가 배치되고, 상기 광소자는 등속으로 회전하는 등속회전 광소자와 스캐닝 광소자를 포함하며, 상기 등속회전 광소자의 방위각 변화에 따른 광의 세기 파형의 푸리에 계수 값들이 상기 광검출기에 의해 측정되어 저장되고, 상기 등속회전 광소자의 방위각 변화에 따른 상기 푸리에 계수 측정값들로부터 상기 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수 값들이 계산되고, 상기 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 상기 푸리에 계수 계산값들로부터 상기 시료의 뮬러 행렬 성분들을 계산하는 연산장치; 및상기 스캐닝 광소자의 방위각을 제어할 수 있고, 상기 연산장치로부터 계산된 상기 뮬러 행렬 성분들의 값들을 파일로 저장 할 수 있으며, 계산된 뮬러 행렬 성분들의 값들을 화면에 표시할 수 있는 컴퓨터; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
2 2
제 1항에 있어서,상기 등속회전 광소자의 방위각 변화에 따른 상기 광검출기에 의해 측정되는 광세기의 파형[ ]은 { : 등속회전 광소자의 방위각, : 스캐닝 광소자의 방위각, : 등속회전 광소자의 방위각 변화에 따른 광세기 파형의 광의 세기 평균값 또는 0차 푸리에 계수, , : 등속회전 광소자의 방위각 변화에 따른 광세기 파형의 푸리에 계수들, , , () : 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수들, : 이 아닌 및 의 푸리에 계수들 중에서 최고 차수의 차수번호, : 이 아닌 , 및 의 푸리에 계수들 중에서 최고 차수의 차수번호}와 같을 때 의 상기 스캐닝 광소자의 방위각을 등간격으로 번 나누어서 각각의 방위각 위치 로 이동하여 정지한 상태에서 상기 등속회전 광소자의 방위각 변화에 대한 광세기 파형의 푸리에 계수들[, , ; ,]을 측정하고,상기 등속회전 광소자의 방위각 변화에 대한 광세기 파형의 상기 푸리에 계수들의 측정값들로부터 상기 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수들(, , ; ,,, )의 값들은 와 같이 이산 푸리에 변환을 사용하여 계산되고, 상기 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수들의 상기 계산값들로부터 상기 시료의 뮬러 행렬 성분들이 계산되는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
3 3
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광 변조부는 하나의 편광자로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 검광자로 구성되며,측정시에는 상기 편광자는 상기 등속회전 광소자로 선택되고, 상기 검광자는 상기 스캐닝 광소자로 선택된 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
4 4
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광 변조부는 하나의 편광자로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 검광자로 구성되며,상기 입사광 축선상에서 상기 광원과 상기 편광자 사이에 배치되는 제 2편광자를 더 포함하고,측정시에는 상기 편광자는 상기 등속회전 광소자로 선택되고, 상기 검광자 또는 상기 2 편광자 중에서 하나가 상기 스캐닝 광소자로 선택되는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
5 5
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광변조부는 하나의 편광자로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 검광자로 구성되며,측정시에는 상기 검광자는 상기 등속회전 광소자로 선택되고,상기 편광자는 상기 스캐닝 광소자로 선택된 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
6 6
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광변조부는 하나의 편광자로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 검광자로 구성되며,상기 반사광 또는 투과광 축선상에서 상기 검광자와 상기 광검출기 사이에 배치되는 제 2 검광자를 포함하며,측정시에는 상기 검광자는 상기 등속회전 광소자로 선택되고,상기 편광자 또는 상기 제 2 검광자 중에서 하나가 상기 스캐닝 광소자로 선택되는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
7 7
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광변조부는 하나의 편광자와 하나의 보상기로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 검광자로 구성되며,상기 편광자는 상기 입사광 축선상에서 상기 광원과 상기 시료 사이에 배치되고,상기 보상기는 상기 입사광 축선상에서 상기 편광자와 상기 시료 사이에 배치되며,측정시에는 상기 보상기는 상기 등속회전 광소자로 선택되고, 상기 편광자 또는 상기 검광자 중에 하나가 상기 스캐닝 광소자로 선택된 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
8 8
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광변조부는 하나의 편광자로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 보상기와 하나의 검광자로 구성되며,상기 보상기는 상기 반사광 또는 투과광 축선상에서 상기 시료과 상기 광검출기 사이에 배치되고,상기 검광자는 상기 반사광 또는 투과광 축선상에서 상기 보상기와 상기 광검출기 사이에 배치되며,측정시에는 상기 보상기는 상기 등속회전 광소자로 선택되고, 상기 편광자 또는 상기 검광자 중에 하나가 상기 스캐닝 광소자로 선택된 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
9 9
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 편광변조부는 하나의 편광자와 하나의 제 1 보상기로 구성되고,상기 편광해석부는 하나의 제 2 보상기와 하나의 검광자로 구성되며,상기 편광자는 입사광 축선상에서 상기 광원과 상기 시료 사이에 배치되고,상기 제 1 보상기는 입사광 축선상에서 상기 편광자와 상기 시료 사이에 배치되며,상기 제 2 보상기는 반사광 또는 투과광 축선상에서 상기 시료과 상기 광검출기 사이에 배치되고,상기 검광자는 반사광 또는 투과광 축선상에서 상기 제 2 보상기와 상기 광검출기 사이에 배치되며,측정시에는 상기 제 1 보상기 또는 제 2 보상기 중에 하나가 상기 등속회전 광소자로 선택되고, 상기 등속회전 광소자를 제외한 나머지 광소자들 중에 하나가 상기 스캐닝 광소자로 선택된 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
10 10
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 시료에 대한 상기 측정된 푸리에 계수들 또는 상기 측정된 뮬러 행렬 성분들로부터 시료의 계면특성, 박막두께, 복소 굴절률, 나노 형상, 비등방 특성, 표면 거칠기, 조성비, 및 결정성을 포함하는 다양한 물성을 분석할 수 있으며,반도체 소자 공정용 측정장비, 평판 디스플레이 공정용 측정장비, 태양광 소자 측정장비, 박막광학 측정장비, 바이오 센서 또는 가스 센서를 포함하는 물성 측정장치로 활용하는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
11 11
삭제
12 12
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 광원은 제논(xenon) 램프, 텡스텐(tungsten)-할로겐(halogen) 램프, 듀테륨(deuterium) 램프, 램프에서 방사된 광이 광섬유를 통하여 전달되는 것, 가스 레이져, 레이져 다이오드 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
13 13
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 광검출기로는CCD, CMOS 또는 포토다이오드 소자 중 선택되는 어느 하나 이상으로 이루어지며,다수의 화소(pixel)들이 선형 또는 2차원 평면 구조로 배열된 광검출기들 중에서 하나가 선택되어 사용되는 분광기를 채택하거나 또는 PMT와 포토다이오드로 만들어진 광검출기를 채택하는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
14 14
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 입사광이 상기 시료에 초점을 맺도록 하는 초점광학계;와 상기 시료에 의해 반사되거나 또는 투과된 광을 다시 평행광으로 변화시켜주는 시준기;를 더 포함하되,상기 초점 광학계와 상기 시준기는 광대역 파장에 대한 색수차 보정을 위하여 1개 이상의 거울, 1개 이상의 이종 재질의 렌즈, 또는 1개 이상의 거울과 1개 이상의 렌즈를 포함하는 광학계로 구성될 수 있으며,단일 박막 또는 다층 박막 코팅된 상기 렌즈들 또는 상기 거울들을 채택할 수 있는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기
15 15
광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 이용한 시료의 물성 측정 방법에 있어서,상기 시료을 장착하고 정렬하는 시료정렬단계;측정에서 필요한 스캐닝 광소자의 방위각 값들을 설정하는 방위각설정단계;컴퓨터에서 프로그램 명령에 의해 스캐닝 광소자의 방위각을 초기값으로 이동하는 초기값이동단계;광검출기에 의해 등속회전 광소자의 방위각 변화에 대한 광세기 파형의 푸리에 계수들을 측정하는 계수측정단계;스캐닝 광소자의 방위각이 최종 목표지점에 도달하였는지 확인하는 최종방위각확인단계;상기 최종방위각확인단계에서 스캐닝 광소자가 최종목표지점까지 도달하지 못하였을 경우, 스캐닝 광소자가 지정된 다른 방위각 위치로 이동하여 정지하고 상기 광검출기에 의해 등속회전 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수들을 측정하는 스캐닝광소자이동단계;상기 최종방위각확인단계에서 스캐닝 광소자의 방위각이 최종 목표지점에 도달하면 상기 스캐닝 광소자의 방위각에 대한 푸리에 계수들이 계산되어 상기 시료의 뮬러 행렬 성분들이 계산되는 뮬러행렬계산단계; 및상기 뮬러행렬계산단계에서 계산된 뮬러 행렬 성분들을 컴퓨터에 파일로 저장 또는 화면에 표시하는 파일저장단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 광소자-회전형 뮬러-행렬 타원계측기를 이용한 시료의 물성 측정 방법
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DOCDB 패밀리 정보

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3 US10145785 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US2016153894 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2015030343 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래부 한국표준과학연구원(KRISS) 한국표준과학연구원 주요사업(첨단측정장비 요소기술개발) 나노측정 핵심기술개발