맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

라디칼 발생 및 이송장치

  • 기술번호 : KST2014052438
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플라즈마를 이용하여 화학적 반응성이 높은 라디칼들(Radicals)의 발생 및 이송 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 전자파에 의한 무전극 플라즈마를 이용하여 플로린화합물들(Fluorine-compounds)를 효율적으로 이온화, 분리 및 여기하여 자유라디칼(F), 여기된 라디칼(F*), 양이온(F+), 또는 음이온(F-)을 포함하는 플라즈마를 발생시키고 상기 플라즈마 내의 라디칼들을 라디칼 이송관을 통해 이송시키고, 상기 이송된 라디칼들이 원하는 곳에 균등하게 분배되어 물질을 처리할 수 있도록 하는 라디칼 발생 및 이송 장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H05H 1/24 (2006.01)
CPC H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01) H01J 37/32449(2013.01)
출원번호/일자 1020120111241 (2012.10.08)
출원인 한국기초과학지원연구원
등록번호/일자 10-1398592-0000 (2014.05.16)
공개번호/일자 10-2014-0045112 (2014.04.16) 문서열기
공고번호/일자 (20140522) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.08)
심사청구항수 20

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 홍용철 대한민국 대전광역시 유성구
2 천세민 대한민국 대전광역시 유성구
3 조창현 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 남건필 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)
2 차상윤 대한민국 서울특별시 영등포구 경인로 ***, *동 ***호(엔씨 국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기초과학지원연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2012.10.08 수리 (Accepted) 1-1-2012-0812594-73
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058386-17
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2013-5058545-81
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2013.08.20 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2013.10.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0081235-49
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2013.11.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0771780-44
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2014.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2014-0020325-78
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2014.01.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0020322-31
9 [대리인해임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Dismissal of Sub-agent] Report on Agent (Representative)		 2014.03.03 수리 (Accepted) 1-1-2014-0208154-10
10 등록결정서
Decision to grant		 2014.05.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0328398-71
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2020-5135881-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전자파를 이용한 무전극 플라즈마를 이용하여 라디칼을 발생시키는 라디칼 발생부;상기 라디칼 발생부와 유체 소통가능하게 연결되어 있으며, 상기 플라즈마의 영역을 확대하고, 발생된 라디칼을 이송하는 라디칼 이송관; 및상기 라디칼 이송관과 유체 소통가능하게 연결되어 있으며, 상기 이송된 라디칼의 유체 흐름이 층류 흐름으로 전환되어 분배되도록 구성된 라디칼 분배부를 포함하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치로서,상기 라디칼 이송관은 관형이며, 상기 라디칼 발생부의 하단에 위치하고, 상기 라디칼 발생부와 유체 소통 가능하게 연결되어 있으며, 상기 라디칼 이송관의 외면 중 상기 라디칼 발생부 측 상부면에 전자석 코일이 감겨져 있고, 상기 전자석 코일의 작동에 의해 상기 라디칼 이송관 내에 상기 라디칼 이송관의 종방향의 자기장을 형성하고, 상기 라디칼 이송관의 외면 중 상기 라디칼 분배부 측 하부면에 냉각수 코일이 감겨져 있으며, 상기 라디칼 분배부는 상기 이송관의 하단에 위치하며, 상기 라디칼 이송관과 유체 소통 가능하게 연결되어 있는 다수의 관통 개구를 포함하고, 상기 라디칼 분배부는 냉각수가 관통하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
2 2
제 1항에 있어서,상기 라디칼 발생부는 방전관 및 도파관을 포함하며,상기 방전관은 상기 도파관을 관통하여 위치하고,상기 방전관으로 라디칼 발생 전구물질을 포함하는 플라즈마 가스가 공급되며,상기 도파관을 통해 전자파가 방전관으로 전송되며, 상기 전자파에 의해 상기 방전관 내에 자기장이 발생하여, 상기 방전관 내에 플라즈마 및 상기 플라즈마에 의한 라디칼이 발생하는, 라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
3 3
제 2항에 있어서,상기 라디칼 발생 전구물질이 플로린화합물인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
4 4
제 3항에 있어서,상기 플로린화합물은 NF3, SF6, CH4, C2F6 및 C3F6로 구성되는 군으로부터 선택되는 하나 이상의 화합물인, 라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
5 5
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 라디칼은 플로린화합물의 플라즈마에 의한 분리 및 여기에 의한 자유라디칼 및 여기된 라디칼인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
6 6
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 플라즈마 발생부는 1기압 이하의 저압을 유지하도록 하는 실링부 및 진공펌프를 포함하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
7 7
삭제
8 8
삭제
9 9
삭제
10 10
제 1항에 있어서,상기 라디칼 분배부의 관통 개구는 상기 라디칼의 진행 방향에 따라 연장된 세장형인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
11 11
제 1항에 있어서,상기 라디칼 분배부의 관통 개구의 관통 방향은 상기 라디칼의 진행 방향에 대해 0도 내지 90도의 각을 이루는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
12 12
삭제
13 13
제 3항에 있어서,상기 도파관에 관통되어 있는 방전관은 상기 도파관의 관통된 두 외면위에 놓이도록 구성된, 상기 방전관의 외면에 외측으로 돌출된 두 개의 환형 디스크를 포함하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
14 14
제 13항에 있어서,상기 환형 디스크와 상기 도파관이 접하는 면에 실링을 위한 진공 실링 오링을 포함하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
15 15
제 13항에 있어서,상기 도파관은 두 개의 관의 단축 단면이 결합되어 있으며, 상기 단축 단면이 결합된 위치에, 상기 방전관은 관통되어 있는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
16 16
제 15항에 있어서,상기 두 관의 단축 단면의 결합은 플랜지에 의해 이뤄진,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
17 17
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 라디칼 발생부, 상기 라디칼 이송관 및 상기 라디칼 분배부는 플로린 화합물 내성 재료로 이뤄진,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
18 18
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 전자파의 발진 주파수가 902-928 MHz, 886-906 MHz, 또는 2
19 19
제 18항에 있어서,상기 전자파의 발진 주파수가 915 MHz 또는 896 MHz의 주파수인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
20 20
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 층류 흐름이 레이놀즈 수(Reynolds number) 2200 이하인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
21 21
제 1항 또는 제 2항에 있어서,상기 층류 흐름이 레이놀즈 수 1100 이하인,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
22 22
제 2항에 있어서,상기 방전관 내로 공급되는 가스는 스월가스(Swirl Gas)로 유입되어, 방전관내 플라즈마의 축방향으로의 안정화를 유지하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
23 23
제 22항에 있어서,상기 방전관 내로 공급되는 가스의 유입 속도를 높여, 상기 방전관내 플라즈마의 안정화 유지를 제공하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
24 24
제 22항에 있어서,상기 방전관 내로 공급되는 가스의 축방향에 대한 주입각도를 높여, 상기 방전관내 플라즈마의 안정화 유지를 제공하는,라디칼 발생, 이송 및 분배 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.