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일측 벽에 형성된 이온빔 입구 플랜지와, 그 대향벽에 형성된 타겟 설치 플랜지와,상기 이온빔 입구 플랜지와 타겟 설치 플랜지를 연결하는 벽체상에 투명유리가 구비된 시창구를 포함하는 진공챔버에 있어서,상기 시창구의 내측에는 투명유리에 수직하는 복수의 금속 스트립이 적어도 제1 방향으로 나란히 형성된 스크린이 장착되는 진공챔버
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제1항에 있어서, 상기 제1 방향은 상기 이온빔 입구 플랜지와 타겟 설치 플랜지가 연결되는 가상선의 방향에 수직한 방향인 진공챔버
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제1항에 있어서, 상기 시창구의 내측에는 투명유리에 수직하는 다른 복수의 금속 스트립이 제1 방향과 수직한 제2방향으로 나란히 더 형성되어 격자상 메쉬 형상을 갖는 스크린이 장착되는 진공챔버
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제1항 내지 제3항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 스크린은 복수의 금속 스트립이 지지되며, 복수의 돌출부가 형성된 스크린 테두리를 가지며, 상기 시창구는 투명유리가 고정되는 시창구 플랜지를 가지며, 그 내측에 상기 스크린의 돌출부가 삽입되는 그루브를 구비하여, 상기 돌출부와 그루브의 결합에 의하여 스크린이 시창구에 고정되는 결합되는 진공챔버
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제4항에 있어서, 상기 돌출부는 스크린 테두리 상에 90도 간격으로 형성된 진공챔버
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