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기판의 표면 일측 또는 양측에 금속산화물 이루어진 세라믹 열전소재를 상온 진공 분말 분사법(Room Temperature Powder Spray in Vacuum, AD)으로 진공 증착한 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 열전후막은 1~100 ㎛의 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 열전후막은 [00l]방향으로 텍스쳐 배향을 갖는 것을 특징으로 하는 열전후막
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제3항에 있어서, 상기 열전후막의 텍스쳐 배향은 60% 이상 [00l]방향으로 배향되는 것을 특징으로 하는 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 열전후막의 Seebeck 계수는 150 μV/K 이상을 갖는 것을 특징으로 하는 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 열전소재는 Ca 및 Co를 함유하는 물질로서 Ca3Co4O9, Ca9Co12O28 및 Ca2Co2O5로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 열전소재는 Ca 및 Co의 조성을 다양하게 변화시켜 미세한 함량조절이 가능한 것을 특징으로 하는 열전후막
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제1항에 있어서, 상기 세라믹 열전소재는 0
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세라믹 열전소재를 혼합용기에 장입하고, 기판을 스테이지에 고정하는 재료준비단계(S100);
상기 혼합용기 내부에 캐리어가스를 공급하여 세라믹 열전소재와 캐리어가스를 혼합하는 가스공급단계(S200);
상기 혼합용기 내부에서 혼합된 캐리어가스 및 세라믹 열전소재를 이송시켜 상기 기판에 분사하는 입자분사단계(S300); 및
상기 스테이지를 이송하여 기판에 열전후막을 형성하는 열전후막 형성단계(S400)를 포함하는 진공 분말 분사법을 이용한 열전후막의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 세라믹 열전소재는 Ca 및 Co를 함유하는 물질로서 Ca3Co4O9, Ca9Co12O28 및 Ca3Co2O6로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 열전후막의 제조방법
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제9항에 있어서, 상기 세라믹 열전소재는 Ca 및 Co의 조성을 다양하게 변화시켜 미세한 함량조절이 가능한 것을 특징으로 하는 열전후막의 제조방법
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제1항의 열전후막을 이용한 열전소자
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