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수분이 통과할 수 있는 흡습성 합성수지를 이용하여 형성되며, 내부에 미세한 직경을 갖는 복수개의 기공(pore)이 분포되어 있는 센서층을 포함하며,
상기 센서층은 상기 기공의 직경에 대응하는 직경을 갖는 복수개의 실리카 구 및 액상의 상기 흡습성 합성수지를 콜로이드 상태로 혼합한 후에, 상기 흡습성 합성수지를 경화하고, 상기 실리카 구를 제거하여 제공되며,
상기 센서층은 상기 흡습성 합성수지로 형성되기 때문에 공기 중의 수분이 상기 센서층의 격벽을 직접 통과할 수 있으며, 상기 격벽을 통과하여 상기 기공 내부로 흡수되는 상기 수분의 양의 변화에 따라서 가시되는 색깔이 변화하며, 상기 기공의 내부로 흡수되는 상기 수분은 상기 기공을 형성하는 상기 센서층의 내벽에 응집되어, 상기 기공 내부의 공간 크기가 조절되는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서
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제1항에 있어서,
상기 기공의 직경은 상기 기공 내부로 흡수되는 상기 수분의 양의 변화와는 무관하게 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서
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제1항에 있어서,
상기 합성수지는 폴리에틸렌 글리콜(polyethylene glycol) 및 비닐론(vinylon) 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서
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삭제
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삭제
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미세한 직경을 갖는 복수개의 실리카 구 및 수분이 통과할 수 있는 흡습성을 가지는 액상의 흡습성 합성수지를 콜로이드 상태로 기판 상에 제공하는 단계;
상기 흡습성 합성수지를 상기 기판 상에서 경화시키는 단계; 및
상기 실리카 구를 선택적으로 제거하여, 내부에 미세한 직경을 갖는 복수개의 기공이 분포되어 있는 센서층을 형성시키는 단계;
를 구비하며, 상기 센서층은 상기 흡습성 합성수지로 형성되기 때문에 공기 중의 수분이 상기 센서층의 격벽을 직접 통과할 수 있으며, 상기 격벽을 통과하여 상기 기공 내부로 흡수되는 수분의 양의 변화에 따라서 가시되는 색깔이 변화하는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 기공의 직경은 상기 기공 내부로 흡수되는 상기 수분의 양의 변화와는 무관하게 일정하게 유지되는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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8
제6항에 있어서,
상기 합성수지는 폴리에틸렌 글리콜 및 비닐론 중 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 실리카 구를 상기 기판 상에 코팅하고, 상기 실리카 구 사이에 상기 합성수지가 스며들도록 상기 실리카 구 및 상기 기판을 액상의 상기 합성수지에 침지하여, 상기 실리카 구 및 합성수지를 콜로이드 상태로 혼합하는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 센서층을 형성시키는 단계에서,
상기 실리카 구를 수용한 상기 경화된 합성수지를 플루오르화 암모늄 및 불화수소의 혼합물의 침지하고, 상기 경화된 합성수지의 격벽을 통하여 침투한 상기 혼합물을 이용하여 상기 실리카 구를 화학적으로 제거하는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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제6항에 있어서,
상기 기판은 실리콘 웨이퍼를 포함하며, 상기 실리카 구를 제거하는 단계에서 함께 제거되는 것을 특징으로 하는 다공성 습도센서의 제조방법
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