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피검사체를 검사하는 검사 장치에 있어서,상기 피검사체가 안착되는 스테이지;상기 피검사체에 대하여 소정의 입사각을 가지는 방사선을 상기 스테이지의 하부로부터 조사하는 방사선 조사부;상기 방사선 조사부에 대향하도록 상기 스테이지의 상부에 설치되고, 상기 스테이지 및 상기 피검사체를 통과한 상기 방사선을 검출하는 방사선 검출부; 및상기 방사선 검출부에 의하여 검출된 상기 방사선에 기초하여 상기 피검사체의 3차원 단층 영상을 생성하는 제어부를 포함하되,상기 스테이지는 상기 피검사체가 안착되는 상면과, 상기 방사선이 상기 스테이지를 통과하는 거리가 상기 스테이지를 통과한 상기 방사선의 양에 로그적으로 반비례하는 곡면부를 구비하는 하면을 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 곡면부는 의 관계를 충족하는 것을 특징으로 하는 검사 장치 (단, μ는 상기 스테이지의 방사선 감쇄 계수, I0는 상기 곡면부 상의 임의의 점에서의 상기 방사선의 양, I는 상기 임의의 점을 거쳐 상기 스테이지를 통과한 상기 방사선의 양, d는 상기 방사선이 상기 스테이지를 통과하는 거리)
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제1항에 있어서,상기 스테이지는회전축을 중심으로 회전하는 회전부; 및상기 방사선 조사부 및 상기 방사선 검출부에 대하여 상대적으로 고정되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제3항에 있어서,상기 회전부는 상기 스테이지의 중심부에 설치되며, 상기 고정부는 상기 회전부의 외주를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제4항에 있어서,상기 피검사체가 안착된 상기 회전부를 상기 회전축을 중심으로 소정의 회전각으로 회전시키는 구동부를 더 포함하되,상기 제어부는 상기 회전부를 회전시키도록 상기 구동부를 제어하면서 상기 3차원 단층 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제3항에 있어서,상기 고정부는 상기 스테이지의 중심부에 설치되며, 상기 회전부는 상기 회전부의 외주를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제6항에 있어서,상기 회전부를 상기 회전축을 중심으로 소정의 회전각으로 회전시키는 제1 구동부; 및상기 회전부의 회전에 동기화되도록 상기 방사선 조사부 및 상기 방사선 검출부를 회전시키는 제2 구동부를 더 포함하되,상기 제어부는 상기 회전부, 상기 방사선 조사부 및 상기 방사선 검출부를 회전시키도록 상기 제1 구동부 및 제2 구동부를 제어하면서 상기 3차원 단층 영상을 생성하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제1항에 있어서,상기 피검사체에 적외선을 조사하여 상기 피검사체의 열 감지 영상을 생성하는 적외선 영상 생성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제8항에 있어서,상기 적외선 영상 생성부는 상기 스테이지의 상부에 설치되는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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제9항에 있어서,상지 제어부는 상기 피검사체에 전원이 인가된 상태에서 상기 열 감지 영상을 생성하도록 상기 적외선 영상 생성부를 제어하는 것을 특징으로 하는 검사 장치
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피검사체를 검사하는 검사 장치에 사용되는 스테이지에 있어서,상기 피검사체가 안착되는 상면; 및상기 스테이지의 하부로부터 조사된 방사선이 상기 스테이지를 통과하는 거리가 상기 스테이지를 통과한 상기 방사선의 양에 로그적으로 반비례하는 곡면부를 구비하는 하면을 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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제11항에 있어서,상기 곡면부는 의 관계를 충족하는 것을 특징으로 하는 스테이지 (단, μ는 상기 스테이지의 방사선 감쇄 계수, I0는 상기 곡면부 상의 임의의 점에서의 상기 방사선의 양, I는 상기 임의의 점을 거쳐 상기 스테이지를 통과한 상기 방사선의 양, d는 상기 방사선이 상기 스테이지를 통과하는 거리)
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제11항에 있어서,상기 스테이지는회전축을 중심으로 회전하는 회전부; 및방사선 조사부 및 방사선 검출부에 대하여 상대적으로 고정되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 스테이지
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제13항에 있어서,상기 회전부는 상기 스테이지의 중심부에 설치되며, 상기 고정부는 상기 회전부의 외주를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 스테이지
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제13항에 있어서,상기 고정부는 상기 스테이지의 중심부에 설치되며, 상기 회전부는 상기 고정부의 외주를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 스테이지
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피검사체가 안착되는 상면 및 곡면부를 포함하는 하면을 구비하는 스테이지, 상기 피검사체에 방사선을 조사하는 방사선 조사부, 상기 피검사체를 통과한 상기 방사선을 검출하는 방사선 검출부를 포함하는 검사 장치에서 수행되는 피검사체의 검사 방법에 있어서,(a) 상기 상면에 안착된 상기 피검사체에, 상기 스테이지의 하부로부터 소정의 조사각으로 상기 방사선을 조사하는 단계;(b) 상기 스테이지 및 상기 피검사체를 통과한 상기 방사선을 검출하는 단계; 및(c) 상기 (b) 단계에서 검출된 상기 방사선으로부터 상기 피검사체의 3차원 단층 영상을 생성하는 단계를 포함하되,상기 곡면부는 상기 방사선이 상기 스테이지를 통과하는 거리가 상기 스테이지를 통과한 상기 방사선의 양에 로그적으로 반비례하고,상기 (b) 단계에서 상기 스테이지에서 감쇄된 상기 방사선의 양이 실질적으로 동일한 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제16항에 있어서,상기 (a) 단계는 상기 피검사체를 소정의 회전각으로 회전시키면서 상기 방사선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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제16항에 있어서,상기 (a) 단계는 상기 방사선 조사부 및 상기 방사선 검출부를 회전시키면서 상기 방사선을 조사하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사 방법
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