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기판을 준비하는 기판 준비 단계;상기 기판 상에 다결정 실리콘층을 증착하는 다결정 실리콘층 형성단계;상기 다결정 실리콘층 상에 소정의 패턴을 가지는 금속 패턴층을 형성하는 금속 패턴층 형성단계;상기 다결정 실리콘층과 금속 패턴층을 제1 에칭공정을 통하여 다결정 실리콘 나노 구조를 형성하는 다결정 실리콘 나노 구조 형성단계; 및상기 다결정 실리콘 나노 구조 상의 금속 패턴층을 제2 에칭공정을 통하여 제거하는 금속 패턴층 제거단계;를 포함하고,상기 실리콘 나노 구조는 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되도록 다수 개의 막대 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리 기판 또는 금속 호일인 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 금속 패턴층은 Ag 또는 Au로 이루어지는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 소정의 패턴은 상기 다결정 실리콘층 상에 Ag를 열증발법을 이용하여 형성한 후, 급속 열처리 공정을 통하여 형성되는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 금속 패턴층은 100 내지 400nm의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 다결정 실리콘층은 2um의 두께로 형성되는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 제1 에칭공정은 건식에칭공정인 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 제2 에칭공정은 습식에칭공정인 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 기판 준비 단계는 상기 기판 상에 버퍼층을 형성하는 버퍼층 형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항에 있어서,상기 다결정 실리콘층 형성단계는,상기 기판 상에 제1+형 다결정 실리콘층을 형성하는 제1+형 다결정 실리콘층 형성단계; 및상기 제1+형 다결정 실리콘층 상에 제1형 다결정 실리콘층을 형성하는 제1형 다결정 실리콘층 형성단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법
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제1항, 제2항, 제4항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법에 의하여 제조된 다결정 실리콘 나노 구조체이고,기판; 및상기 기판 상에 증착되는 다결정 실리콘 나노구조층;을 포함하며,상기 다결정 실리콘 나노구조층은 상기 기판 상에 소정 간격으로 이격되도록 다수 개의 막대 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 다결정 실리콘 나노구조층은,상부에 소정의 패턴을 가지는 금속 패턴층이 형성되고, 상기 금속 패턴층의 패턴 사이를 제1 에칭한 후, 제2 에칭에 의하여 제거되어 형성되는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 기판은 유리 기판 또는 금속 호일인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 금속 패턴층은 Ag 또는 Au로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 제1 에칭은 건식에칭인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 제2 에칭은 습식에칭인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제12항에 있어서,상기 다결정 실리콘층은,상기 기판 상에 형성된 제1+형 다결정 실리콘층; 및상기 제1+형 다결정 실리콘층 상에 형성된 제1형 다결정 실리콘층을 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 나노 구조체
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제1항, 제2항, 제4항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 Ag 나노 입자를 통한 다결정 실리콘 박막의 나노구조 형성방법에 의하여 제조된 다결정 실리콘 나노 구조체를 포함하는 다결정 실리콘 박막 태양전지
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