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디스플레이 기판용 서셉터 및 그 제조방법

기술번호 : KST2014052795
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 고온 및 넓은 온도 싸이클 환경 하에서도 견딜 수 있는 디스플레이 기판용 서셉터 및 그 제조방법을 구현하기 위하여, 알루미늄을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있으며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하고 있는, 몸체부를 구비하며, 탄소를 포함하며, 상기 몸체부보다 열팽창계수가 낮으며, 상기 몸체부 내에 매립되어 상기 몸체부와 브레이징 접합되는, 적어도 하나의 저열팽창부를 구비한 디스플레이 기판용 서셉터를 제공한다.
Int. CL	C04B 35/52 (2006.01) H01L 21/683 (2006.01) C04B 35/74 (2006.01)
CPC	C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01) C04B 35/74(2013.01)
출원번호/일자	1020120089810 (2012.08.17)
출원인	한국생산기술연구원
등록번호/일자	10-1322810-0000 (2013.10.22)
공개번호/일자	10-2013-0099794 (2013.09.06) 문서열기
공고번호/일자	(20131028) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보	대한민국 \| 1020120021442 \| 2012.02.29
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.08.17)
심사청구항수	14

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원	대한민국	충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	신승용	대한민국	서울시 서초구
2	선주현	대한민국	인천 연수구
3	이장훈	대한민국	인천 서구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김남식	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)
2	한윤호	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
3	양기혁	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 (삼성동) 명지빌딩, *층(선정국제특허법률사무소)
4	이인행	대한민국	서울특별시 서초구 남부순환로**길 -, 층 (양재동, 가람빌딩)(율민국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원		충청남도 천안시 서북구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.08.17	수리 (Accepted)	1-1-2012-0657794-50
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.01.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-5017806-08
3	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.06.04	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서 [Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)	2013.07.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-0606539-85
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.07.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0055481-10
6	등록결정서 Decision to grant	2013.10.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0719746-93
7	[출원서등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2014.04.11	수리 (Accepted)	1-1-2014-0347919-13
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2015.01.16	수리 (Accepted)	4-1-2015-5006834-98
9	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 알루미늄을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있으며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하고 있는, 몸체부; 및탄소를 포함하며, 상기 몸체부보다 열팽창계수가 낮으며, 상기 몸체부 내에 매립되어 상기 몸체부와 브레이징 접합되는, 적어도 하나의 저열팽창부;를 구비하는 디스플레이 기판용 서셉터
2	2 제 1 항에 있어서, 상기 저열팽창부는 탄소를 포함하는 하이브리드복합체를 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터
3	3 제 2 항에 있어서, 상기 하이브리드복합체는 탄소체; 및상기 탄소체의 외부면을 둘러싸는, 메탈라이징(metallizing)층;을 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터
4	4 제 2 항에 있어서, 상기 하이브리드복합체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소체들;상기 복수의 탄소체들 사이에 개재되는, 알루미늄과 탄소의 소결복합층; 및상기 복수의 탄소체들과 상기 소결복합층의 외부면을 둘러싸는, 메탈라이징층;을 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터
5	5 제 2 항에 있어서, 상기 하이브리드복합체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소체들;알루미늄을 포함하며, 상기 복수의 탄소체들 사이에 개재되는, 열전도층; 및상기 복수의 탄소체들과 상기 열전도층의 외부면을 둘러싸는, 메탈라이징층;을 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터
6	6 제 1 항에 있어서, 상기 적어도 하나의 저열팽창부는 상기 몸체부 내에서 서로 이격되어 분산되도록 배치된 복수의 저열팽창부들을 포함하는, 디스플레이 기판용 서셉터
7	7 제 1 항에 있어서, 상기 몸체부의 외부면을 둘러싸는, 산화알루미늄층을 더 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터
8	8 제 7 항에 있어서, 상기 저열팽창부의 열팽창계수는 상기 산화알루미늄층의 열팽창계수 이상이며 상기 히터의 열팽창계수 이하인, 디스플레이 기판용 서셉터
9	9 알루미늄을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있으며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하고 있는, 몸체부를 제공하는 단계;탄소를 포함하며, 상기 몸체부보다 열팽창계수가 낮은, 저열팽창부를 제공하는 단계; 및상기 몸체부 내에 상기 저열팽창부가 매립되도록 배치하여 상기 몸체부와 상기 저열팽창부를 브레이징 접합하는 단계;를 구비하는 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법
10	10 제 9 항에 있어서, 상기 탄소를 포함하는 저열팽창부를 형성하는 단계는탄소를 포함하는 제 1 구조체를 형성하는 단계; 및상기 제 1 구조체의 외부면을 둘러싸도록 메탈라이징층을 형성하는 단계;를 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법
11	11 제 10 항에 있어서, 상기 메탈라이징층을 형성하는 단계는상기 제 1 구조체의 외부면 상에, 제 1 필러를 개재하여, 금속 포일을 배치하는 단계; 및상기 제 1 구조체, 상기 제 1 필러 및 상기 금속 포일을 제 1 열처리하는 단계;를 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법
12	12 제 10 항에 있어서, 상기 메탈라이징층을 형성하는 단계 이후에, 상기 메탈라이징층 상에 캐닝부를 형성하는 단계를 더 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법
13	13 제 12 항에 있어서, 상기 캐닝부를 형성하는 단계는상기 메탈라이징층의 외부면 상에, 제 2 필러를 개재하여, 알루미늄 판재를 배치하는 단계; 및상기 메탈라이징층, 상기 제 2 필러 및 상기 알루미늄 판재를 제 2 열처리하는 단계;를 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법
14	14 제 9 항에 있어서, 상기 브레이징 접합하는 단계는상기 몸체부와 상기 저열팽창부 사이에 제 3 필러를 개재하여, 상기 몸체부, 상기 저열팽창부 및 상기 제 3 필러를 제 3 열처리하는 단계를 구비하는, 디스플레이 기판용 서셉터의 제조방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR101411953	KR	대한민국	FAMILY
2	KR101411954	KR	대한민국	FAMILY
3	KR101411955	KR	대한민국	FAMILY
4	KR101411956	KR	대한민국	FAMILY
5	WO2013129891	WO	세계지적재산권기구(WIPO)	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR101411953	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
2	KR101411954	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
3	KR101411955	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
4	KR101411956	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
5	KR20130099790	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
6	KR20130099791	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
7	KR20130099792	KR	대한민국	DOCDBFAMILY
8	KR20130099793	KR	대한민국	DOCDBFAMILY

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	미래창조과학부	재료연구소	융합연구사업	반도체/ 디스플레이 공정용 고기능 susceptor 부품을 위한 공통 제조 기반기술개발

본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1322810-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120817 출원 번호 : 1020120089810 공고 연월일 : 20131028 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131021 청구범위의 항수 : 14 유별 : C04B 35/74 발명의 명칭 : 디스플레이 기판용 서셉터 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 :

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	295,500 원	2013년 10월 23일	납입
제 4 년분	금 액	243,600 원	2016년 10월 05일	납입
제 5 년분	금 액	243,600 원	2017년 09월 27일	납입
제 6 년분	금 액	174,000 원	2018년 10월 02일	납입
제 7 년분	금 액	316,000 원	2019년 09월 25일	납입
제 8 년분	금 액	316,000 원	2020년 09월 25일	납입

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.08.17	수리 (Accepted)	1-1-2012-0657794-50
2	출원인정보변경(경정)신고서	2013.01.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-5017806-08
3	선행기술조사의뢰서	2013.06.04	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
4	[대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서	2013.07.05	수리 (Accepted)	1-1-2013-0606539-85
5	선행기술조사보고서	2013.07.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0055481-10
6	등록결정서	2013.10.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0719746-93
7	[출원서등 보정]보정서	2014.04.11	수리 (Accepted)	1-1-2014-0347919-13
8	출원인정보변경(경정)신고서	2015.01.16	수리 (Accepted)	4-1-2015-5006834-98
9	출원인정보변경(경정)신고서	2018.07.02	수리 (Accepted)	4-1-2018-5123030-77


기술번호	KST2014052795
자료제공기관	NTB
기술공급기관	한국생산기술연구원
기술명	디스플레이 기판용 서셉터 및 그 제조방법
기술개요	본 발명은 고온 및 넓은 온도 싸이클 환경 하에서도 견딜 수 있는 디스플레이 기판용 서셉터 및 그 제조방법을 구현하기 위하여, 알루미늄을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있으며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하고 있는, 몸체부를 구비하며, 탄소를 포함하며, 상기 몸체부보다 열팽창계수가 낮으며, 상기 몸체부 내에 매립되어 상기 몸체부와 브레이징 접합되는, 적어도 하나의 저열팽창부를 구비한 디스플레이 기판용 서셉터를 제공한다.
개발상태	기술개발완료
기술의 우수성
응용분야	전기전자
시장규모 및 동향
희망거래유형	라이센스
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1415125419
세부과제번호	산업-일반-협동6
연구과제명	반도체/디스플레이 제조용 고기능 Susceptor 부품을 위한 공통제조기반기술 개발
성과구분	출원
부처명	지식경제부
연구관리전문기관명	산업기술연구회
연구주관기관명	한국기예연구원 부설 재료연구소
성과제출연도	2012
연구기간	200812~201402
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1711006121
세부과제번호	산업-일반-협동6
연구과제명	반도체/디스플레이 제조용 고기능 Susceptor 부품을 위한 공통제조기반기술 개발
성과구분	등록
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	200812~201402
기여율	1
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	IT(정보기술)

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