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미세패턴 형성 방법

  • 기술번호 : KST2014052811
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 미세패턴 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명은 일 실시형태로서 기판을 준비하는 단계; 및 상기 기판에 타겟물질을 스퍼터링하여 미세 패턴을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 스퍼터링시 파워는 3.46~14.81W/㎠이고, 하기 (a) 및 (b) 조건 중 하나 이상을 만족하는 미세 패턴 형성 방법을 제공한다.(a) 바이어스 : 0.11~0.76W/㎠(b) 온도 : 50~300℃(단, 상기 온도는 기판으로부터 12cm 떨어진 곳에서의 가열 온도임.)본 발명에 따르면, 간단하면서도 낮은 비용으로도 미세 패턴을 형성할 수 있어 우수한 생산성과 경제성을 갖는 미세 패턴 형성 방법을 제공할 수 있다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020120107946 (2012.09.27)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1375878-0000 (2014.03.11)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20140317) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.27)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송영식 대한민국 인천 계양구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.09.27 수리 (Accepted) 1-1-2012-0789298-22
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.05.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.06.07 수리 (Accepted) 9-1-2013-0044319-74
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0715068-52
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2013.12.17 수리 (Accepted) 1-1-2013-1153726-47
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2014.01.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2014-0026497-41
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2014.01.10 수리 (Accepted) 1-1-2014-0026496-06
9 등록결정서
Decision to grant
2014.02.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2014-0143642-89
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판을 준비하는 단계; 및상기 기판에 타겟물질을 스퍼터링하여 패턴을 형성하는 단계를 포함하고,상기 스퍼터링시, 파워는 3
2 2
청구항 1에 있어서,상기 기판은 실리콘, 유리, 금속 및 세라믹으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상의 재료로 형성된 미세 패턴 형성 방법
3 3
청구항 1에 있어서,상기 타겟물질은 테플론, 산화물, 금속 및 플리머로 이루어지는 그룹으로부터 선택된 1종 이상인 미세 패턴 형성 방법
4 4
청구항 1에 있어서,상기 스퍼터링시 기판과 타겟간의 거리는 3~7cm의 범위를 갖는 미세 패턴 형성 방법
5 5
청구항 1에 있어서,상기 스퍼터링시 챔버 내 압력은 1~7mtorr의 범위를 갖는 미세 패턴 형성 방법
6 6
청구항 1에 있어서,상기 패턴을 형성하기 전 또는 후, 상기 기판에 발수성 코팅층을 형성하는 단계를 추가로 포함하는 미세 패턴 형성 방법
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP02903018 EP 유럽특허청(EPO) FAMILY
2 US09637815 US 미국 FAMILY
3 US20150259778 US 미국 FAMILY
4 WO2014051355 WO 세계지적재산권기구(WIPO) FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 EP2903018 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
2 EP2903018 EP 유럽특허청(EPO) DOCDBFAMILY
3 US2015259778 US 미국 DOCDBFAMILY
4 US9637815 US 미국 DOCDBFAMILY
5 WO2014051355 WO 세계지적재산권기구(WIPO) DOCDBFAMILY
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