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내부에 반응공간을 제공하는 반응챔버;기판을 올려놓을 수 있도록 상기 반응챔버 내에 설치되는 기판지지대;하부가 개방되고 위로 볼록한 형태를 하여 상기 기판지지대와 이격된 상태에서 상기 기판지지대를 위에서 덮도록 설치되며, 벽에는 0
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제1항에 있어서, 상기 내부챔버의 하부 테두리가 상기 반응챔버의 저면에 놓이도록 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제1항에 있어서, 상기 반응챔버의 내측면 둘레를 따라 링 형상으로 안쪽으로 돌출되도록 내부챔버 받침대가 설치되고, 상기 내부챔버의 하부 테두리가 상기 내부챔버 받침대에 놓이도록 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제3항에 있어서, 상기 내부챔버가 상기 내부챔버 받침대에서 분리 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제4항에 있어서, 상기 내부챔버의 하부 테두리가 끼워질 수 있도록 상기 내부챔버 받침대의 윗면에 내부챔버 결합홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제3항에 있어서, 상기 내부챔버 받침대에 복수개의 관통공이 형성되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제6항에 있어서, 상기 내부챔버 받침대에 형성되는 관통공이 상기 내부챔버에 형성되는 관통공보다 크기가 작은 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제1항에 있어서, 상기 가둠기체 주입부를 통하여 상기 가둠기체가 공급되는 동안에 상기 내부챔버의 내부압력이 상기 내부챔버의 외부압력보다 낮게 유지되도록, 상기 가둠기체 주입부를 통한 가둠기체의 공급과 상기 샤워헤드를 통한 공정기체의 공급을 연동 제어하는 제어수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제1항에 있어서, 상기 내부챔버는 측벽과 천정으로 구분되고, 상기 내부챔버의 천정에 형성되는 관통공이 상기 내부챔버의 측벽에 형성되는 관통공보다 크기가 작은 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제1항에 있어서, 상기 기판의 출입통로서의 기판 출입구가 상기 내부챔버 받침대보다 아래에 위치하여 상기 반응챔버의 측벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제10항에 있어서, 상기 기판지지대는 하강 시에는 상기 기판 출입구보다 같거나 낮은 위치까지 도달하고, 승강 시에는 상기 내부챔버 받침대보다 높은 위치까지 도달하도록 승하강 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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제1항에 있어서, 상기 내부챔버의 개방부 입구 부근 둘레를 따라 단턱부가 형성되고, 상기 샤워헤드는 옆으로 움직이지 못하도록 상기 단턱부에 걸리게 설치되는 것을 특징으로 하는 화학기상증착장치
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