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스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기

  • 기술번호 : KST2014052847
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일 실시예는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기에 관한 것으로, 해결하고자 하는 기술적 과제는 공정 챔버의 내부를 X축 및 Y축으로 스캔하면서 가스 스펙트럼을 분석하여 보다 정밀한 가스 스펙트럼 분석이 가능한 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기를 제공하는데 있다.이를 위해 본 발명은 척 위에 웨이퍼가 안착되면, 플라즈마에 의해 상기 웨이퍼가 에칭되도록 하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버에 결합되어 X축 및 Y축으로 스캔하며, 상기 공정 챔버 내부의 가스 성분을 스캔하는 스캐닝 줌 렌즈부; 및, 상기 스캐닝 줌 렌즈부로부터 입력받은 광신호에 기초하여, 상기 공정 챔버 내부의 가스 성분을 분석하는 분광부를 포함하는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기를 개시한다.
Int. CL H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01J 37/32972(2013.01)
출원번호/일자 1020120112004 (2012.10.09)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1335011-0000 (2013.11.25)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20131202) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.10.09)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정훈 대한민국 서울 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서만규 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)
2 서경민 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.10.09 수리 (Accepted) 1-1-2012-0819579-06
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2013-5017806-08
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2013.06.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2013.07.10 수리 (Accepted) 9-1-2013-0057215-28
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0574008-15
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2013-0934054-03
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.10.16 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0934111-18
8 등록결정서
Decision to grant
2013.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0753616-53
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
척 위에 웨이퍼가 안착되면, 플라즈마에 의해 상기 웨이퍼가 에칭되도록 하는 공정 챔버;상기 공정 챔버에 결합되어 X축 및 Y축으로 스캔하며, 상기 공정 챔버 내부의 가스 성분을 스캔하는 스캐닝 줌 렌즈부; 및,상기 스캐닝 줌 렌즈부로부터 입력받은 광신호에 기초하여, 상기 공정 챔버 내부의 가스 성분을 분석하는 분광부를 포함하고,상기 스캐닝 줌 렌즈부는 상기 공정 챔버로부터의 광이 입사되는 스캐닝 렌즈 모듈; 상기 스캐닝 렌즈 모듈로부터의 광이 X축 방향으로 이동하면서 입사하도록 하는 X축 광 입사 조절부; 및 상기 X축 광 입사 조절부로부터의 광이 Y축 방향으로 이동하면서 입사하도록 하는 Y축 광 입사 조절부를 포함하며,상기 스캐닝 렌즈 모듈은 내부에 광 섬유를 수용하는 하우징; 상기 하우징의 내측으로서 상기 광 섬유의 일측에 이격되어 설치된 커플링 렌즈; 및 상기 하우징의 내측으로서 상기 커플링 렌즈로부터 이격되어 설치된 줌 렌즈 블록을 포함함을 특징으로 하는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기
2 2
제 1 항에 있어서,상기 스캐닝 줌 렌즈부는 상기 공정 챔버에 구비된 관찰창에 설치된 것을 특징으로 하는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기
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삭제
4 4
제 1 항에 있어서,상기 분광부는상기 스캐닝 줌 렌즈부로부터의 광을 센싱하여 파장별 광세기를 분석하는 센서부; 및상시 센서부에 의해 센싱된 파장별 광세기를 출력하는 제어부를 포함함을 특징으로 하는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 X축 광 입사 조절부는 X축 방향으로 회전하는 X축 스캐너 및 상기 X축 스캐너에 결합된 동시에 상기 스캐닝 렌즈 모듈이 결합된 X축 연결부로 이루어지고,상기 Y축 광 입사 조절부는 Y축 방향으로 회전하는 Y축 스캐너 및 상기 Y축 스캐너에 결합된 동시에 상기 X축 광 입사 조절부가 결합된 Y축 연결부로 이루어짐을 특징으로 하는 스캐닝 줌 렌즈를 갖는 분광 분석기
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.