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판상으로 형성되고, 내부가 천공되어 홀이 형성된 기판;상기 기판의 홀 내에 위치하여 일단이 상기 기판과 연결되고, 타단은 자유단으로 형성된 제 1 굽힘부;상기 제 1 굽힘부의 상부에 형성된 전극; 및상기 제 1 굽힘부의 상부에 상기 전극을 감싸면서 형성된 제 2 굽힘부를 포함하고,상기 제 2 굽힘부는 상기 제 1 굽힘부에 비해 잔류 응력이 큰 재질로 형성되는 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 종이 또는 폴리이미드(Polyimide)로 형성된 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 굽힘부는 상기 기판보다 상부로 돌출되도록 굴곡된 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 굽힘부는 상기 기판과 일체로 형성된 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 굽힘부는 폴리머 재질로 형성된 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 굽힘부는 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성된 유속 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전극에 연결되어 폐루프를 구성하는 전원, 상기 폐루프에 흐르는 전류값을 측정하는 감지부를 더 포함하는 유속 센서
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8
제 7 항에 있어서,상기 감지부는 상기 전류값의 변화를 측정하여, 유체의 속도를 측정하는 유속 센서
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판상의 기판을 형성하는 단계;상기 기판의 상부에 전극을 인쇄하는 단계;상기 기판을 천공하여, 상기 전극의 하부에 형성되고 일단이 상기 기판의 내면에 고정되고 타단이 자유단인 제 1 굽힘부를 형성하는 단계;상기 제 1 굽힘부의 상부에 상기 전극을 감싸도록 제 2 굽힘부를 형성하는 단계; 및외부에서 열을 가하여 상기 제 1 굽힘부 및 제 2 굽힘부가 굴곡되도록 건조 작업을 수행하는 단계를 포함하는 유속 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 기판은 종이 또는 폴리이미드(Polyimide)로 형성되는 유속 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 굽힘부는 폴리머 재질로 형성되는 유속 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 제 2 굽힘부는 PDMS(polydimethylsiloxane)로 형성되는 유속 센서의 제조 방법
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제 9 항에 있어서,상기 건조 작업을 수행하는 단계 이후에 상기 전극에 와이어를 통해 전원, 및 전류값을 측정하는 감지부를 더 연결하는 단계를 더 포함하는 유속 센서의 제조 방법
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