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세라믹을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 제 1 부; 및탄소를 포함하며, 상기 제 1 부와 브레이징 접합되며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부;를 구비하고, 상기 제 2 부는 탄소를 포함하는 하이브리드복합체를 구비하고, 상기 하이브리드복합체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소층들;상기 복수의 탄소층들 사이에 개재되며, 상기 히터를 내장하는, 알루미늄과 탄소의 소결복합층; 및알루미늄을 포함하며, 상기 복수의 탄소층들과 상기 소결복합층의 외부면을 둘러싸는, 캐닝부;를 구비하는, 이종접합 히팅구조체
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세라믹을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 제 1 부; 및탄소를 포함하며, 상기 제 1 부와 브레이징 접합되며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부;를 구비하고, 상기 제 2 부는 탄소를 포함하는 하이브리드복합체를 구비하고, 상기 하이브리드복합체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소층들;알루미늄을 포함하며, 상기 복수의 탄소층들 사이에 개재되며, 상기 히터를 내장하는, 열전도층; 및알루미늄을 포함하며, 상기 복수의 탄소층들과 상기 열전도층의 외부면을 둘러싸는, 캐닝부;를 구비하는, 이종접합 히팅구조체
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 하이브리드복합체의 열팽창계수 α2 는 상기 세라믹의 열팽창계수 α1 와 (α1 x 0
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 세라믹은 질화알루미늄(AlN)을 포함하며, 상기 제 1 부는 상기 제 2 부와 직접 브레이징 접합된, 이종접합 히팅구조체
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제 4 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 세라믹은 알루미나(Al2O3)를 포함하며, 상기 제 1 부는 상기 제 2 부와 대향하는 면 상에 형성된 몰리브덴-망간 메탈라이징층을 개재하여 상기 제 2 부와 브레이징 접합된, 이종접합 히팅구조체
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질화알루미늄을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 제 1 부를 준비하는 단계;그라파이트를 포함하며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부를 형성하는 단계;상기 제 1 부와 상기 제 2 부를 브레이징 접합하는 단계;를 포함하며,상기 제 2 부를 준비하는 단계는, 그라파이트로 이루어진 제 1 구조체의 외부면 상에, 제 1 필러를 개재하여, 금속포일을 배치시키는 단계;상기 제 1 구조체, 상기 제 1 필러 및 상기 금속 포일을 제 1 열처리하여 메탈라이징층을 형성시키는 단계;상기 메탈라이징된 제 1 구조체의 외부면 상에, 제 2 필러를 개재하여, 알루미늄 판재를 배치하는 단계; 및상기 제 1 구조체, 상기 제 2 필러 및 상기 알루미늄 판재를 제 2 열처리하는 단계;를 포함하며,상기 제 1 필러는 BNi₂이며, 상기 금속 포일은 스텐레스 포일인, 이종접합 히팅구조체의 제조방법
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세라믹을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 제 1 부를 준비하는 단계;탄소를 포함하며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부를 형성하는 단계; 및상기 제 1 부와 상기 제 2 부를 브레이징 접합하는 단계;를 구비하고,상기 탄소를 포함하며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부를 형성하는 단계는, 탄소를 포함하며, 상기 히터를 내장하는, 제 1 구조체를 형성하는 단계; 및 상기 제 1 구조체의 외부면을 둘러싸도록, 알루미늄을 포함하는 캐닝부를 형성하는 단계;를 구비하고, 상기 제 1 구조체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소층들; 및 상기 복수의 탄소층들 사이에 개재되며, 상기 히터를 내장하는, 알루미늄과 탄소의 소결복합층;을 구비하는, 이종접합 히팅구조체의 제조방법
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세라믹을 포함하며, 그 상에 기판이 안착될 수 있는, 제 1 부를 준비하는 단계;탄소를 포함하며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부를 형성하는 단계; 및상기 제 1 부와 상기 제 2 부를 브레이징 접합하는 단계;를 구비하고,상기 탄소를 포함하며, 상기 기판을 가열할 수 있는 히터를 내장하는, 제 2 부를 형성하는 단계는, 탄소를 포함하며, 상기 히터를 내장하는, 제 1 구조체를 형성하는 단계; 및 상기 제 1 구조체의 외부면을 둘러싸도록, 알루미늄을 포함하는 캐닝부를 형성하는 단계;를 구비하고, 상기 제 1 구조체는 서로 이격되어 배치되는 복수의 탄소층들; 및 알루미늄을 포함하며, 상기 복수의 탄소층들 사이에 개재되며, 상기 히터를 내장하는, 열전도층;을 구비하는, 이종접합 히팅구조체의 제조방법
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제 10 항에 있어서, 상기 브레이징 접합하는 단계는상기 제 1 부와 상기 제 2 부 사이에 제 3 필러를 개재하여, 상기 제 1 부, 상기 제 2 부 및 상기 제 3 필러를 제 3 열처리하는 단계를 구비하는, 이종접합 히팅구조체의 제조방법
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제 17 항에 있어서, 상기 제 2 필러와 상기 제 3 필러는 동일한 물질로 구성되며, 상기 제 2 열처리하는 단계와 상기 제 3 열처리하는 단계는 동일한 열처리조건으로 동시에 수행되는, 이종접합 히팅구조체의 제조방법
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