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반응기; 상기 반응기 내부에 구비되고, 원료 가스를 이용한 증착 공정이 이루어지는 반응 챔버;상기 반응 챔버의 내부로 투입된 원료 가스가 증착되고, 상기 반응 챔버의 바닥면에 대하여 기설정된 각도로 경사지게 연장되는 다수개의 제1실리콘 로드; 상기 반응 챔버의 내부로 투입된 원료 가스가 증착되고, 상기 제1실리콘 로드를 연결하는 다수개의 제2실리콘 로드; 상기 실리콘 로드에 전류를 공급하는 2개의 전극; 상기 제1실리콘 로드의 적어도 일부를 차폐하는 제1차폐 부재; 및 상기 제1차폐 부재에 결합되어 상기 제2실리콘 로드를 차폐하는 제2차폐 부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2차폐 부재는, 석영 재질로 성형되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1차폐 부재는, 상기 제1실리콘 로드에 비하여 상대적으로 짧은 길이를 가지는 중공의 튜브 형상으로 형성되고, 상기 제2차폐 부재는, 저면이 개구되는 ┏┓ 또는 ∩ 형상의 종단면을 가지는 다면체 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1차폐 부재는, 상기 제1실리콘 로드의 일부를 차폐하고, 상기 제2차폐 부재는, 상기 제1실리콘 로드의 나머지 및 상기 제2실리콘 로드를 차폐하는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1차폐 부재의 상단 및 상기 제2차폐 부재의 하단 중 어느 일방에는 결합홈이 형성되고, 상기 제1차폐 부재의 상단 및 상기 제2차폐 부재의 하단 중 나머지 일방에는 상기 결합홈에 삽입되는 결합 돌기가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항에 있어서, 상기 제1 및 제2차폐 부재 중 어느 하나에는, 상기 제1 및 제2차폐 부재 중 나머지의 일부가 삽입되는 결합 채널이 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제2차폐 부재에는, 상기 제1차폐 부재의 내부로 공급되는 원료 가스가 상기 반응 챔버의 내부로 배출되는 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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원료 가스가 투입되는 반응 챔버가 구비되는 반응기; 상기 반응 챔버의 내부로 투입된 원료 가스가 증착되고, 일부가 수직 방향으로 연장되고 나머지가 수평 방향으로 연장되어 ┏┓형상으로 배치되는 실리콘 로드; 수직 방향으로 연장되는 상기 실리콘 로드의 일부의 하단에 각각 연결되고, 상기 실리콘 로드로 전류를 전달하는 2개의 전극; 및 상기 실리콘 로드를 차폐하고, 그 내부를 열교환 유체가 유동하는 차폐 부재; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 8 항에 있어서, 상기 차폐 부재는, 수직 방향으로 연장되는 상기 실리콘 로드의 일부를 차폐하고, 열교환 유체가 유동되는 제1유로가 구비되는 2개의 제1차폐 부재; 및 수평 방향으로 연장되는 상기 실리콘 로드의 나머지를 차폐하고, 열교환 유체가 유동되는 제2유로가 구비되는 1개의 제2차폐 부재; 를 포함하고, 상기 제2차폐 부재가 상기 제1차폐 부재의 상단에 결합되면, 상기 제1 및 제2유로가 서로 연통되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제1 및 제2차폐 부재 중 어느 하나의 일부가, 상기 제1 및 제2차폐 부재 중 나머지 하나에 삽입되어 양자가 결합되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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제 9 항에 있어서, 상기 제2차폐 부재에는, 상기 제1차폐 부재의 내부로 공급되는 원료 가스가 상기 반응 챔버의 내부로 배출되는 개구부가 형성되고, 상기 제2유로는, 상기 개구부를 제외한 상기 제2차폐 부재의 나머지 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 증착 장치
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