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윈도우 일체형 비냉각형 적외선 검출기 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2014053383
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 윈도우 일체형 비냉각형 적외선 검출기 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명의 적외선 검출기 제조방법은, 웨이퍼 상에 신호취득회로를 집적하며, 상기 웨이퍼 상부에 다수의 적외선 검출소자로 이루어진 센서 어레이를 배치 가공하는 제1공정(S10)과; 진공 상태에서 상기 어레이 상부를 밀봉하기 위하여 상기 웨이퍼에 윈도우 캡을 접합하는 제2공정(S20)과; 상기 제2공정(S20)에서 윈도우 캡 접합이 완료된 웨이퍼를 칩 단위로 다이싱하는 제3공정(S30)으로 구성되어, 소자 웨이퍼와 적외선에 투명한 윈도우 캡을 웨이퍼 레벨에서 진공 패키징하여 생산성과 수율을 높일 수 있는 효과가 있다.
Int. CL G01J 5/20 (2006.01) H01L 31/101 (2006.01)
CPC G01J 5/20(2013.01) G01J 5/20(2013.01) G01J 5/20(2013.01) G01J 5/20(2013.01)
출원번호/일자 1020110102840 (2011.10.10)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-1259497-0000 (2013.04.24)
공개번호/일자 10-2013-0038468 (2013.04.18) 문서열기
공고번호/일자 (20130506) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.10.10)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 한명수 대한민국 광주광역시 광산구
2 고항주 대한민국 광주광역시 북구
3 김효진 대한민국 광주광역시 광산구
4 신재철 대한민국 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이은철 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)
2 이우영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로**길 **, A동 *층 ***호 (문정동, H비지니스파크)(*T국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2011.10.10 수리 (Accepted) 1-1-2011-0786797-44
2 보정요구서
Request for Amendment		 2011.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0094029-15
3 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2011.10.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0803034-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2012.10.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0659060-50
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2012.12.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-1061121-10
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2012.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2012-1061120-75
7 등록결정서
Decision to grant		 2013.04.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0271092-56
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
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번호 청구항
1 1
삭제
2 2
웨이퍼 상에 신호취득회로를 집적하며, 상기 웨이퍼 상부에 다수의 적외선 검출소자로 이루어진 센서 어레이를 배치 가공하는 제1공정과;진공 상태에서 상기 어레이 상부를 밀봉하기 위하여 상기 웨이퍼에 윈도우 캡을 접합하는 제2공정과;상기 제2공정에서 윈도우 캡 접합이 완료된 웨이퍼를 칩 단위로 다이싱하는 제3공정을 포함하되,상기 제2공정의 상기 윈도우 캡은, 적외선 투광성 재질의 제2웨이퍼 테두리를 따라서 접합 패드용 금속을 증착하는 공정과;상기 제2웨이퍼를 식각하는 공정과;식각이 이루어진 상기 제2웨이퍼의 표면에 무반사 코팅층과 게터층을 증착 형성하는 공정을 포함하는 적외선 검출기의 제조방법
3 3
웨이퍼 상에 신호취득회로를 집적하며, 상기 웨이퍼 상부에 다수의 적외선 검출소자로 이루어진 센서 어레이를 배치 가공하는 제1공정과;진공 상태에서 상기 어레이 상부를 밀봉하기 위하여 상기 웨이퍼에 윈도우 캡을 접합하는 제2공정과;상기 제2공정에서 윈도우 캡 접합이 완료된 웨이퍼를 칩 단위로 다이싱하는 제3공정을 포함하되,상기 제2공정의 상기 윈도우 캡은,상기 웨이퍼와 상응하는 크기를 갖는 적외선 투과 재질의 제2웨이퍼에 무반사 코팅층과 게터층을 증착하여 윈도우 웨이퍼를 제조하는 공정과;상기 윈도우 웨이퍼에 스페이서를 형성하는 공정을 포함하는 적외선 검출기의 제조방법
4 4
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 무반사 코팅층은 상기 제2웨이퍼의 양면에 코팅되는 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 제조방법
5 5
제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제2공정에서 진공도는 10-2 torr 이하인 것을 특징으로 하는 적외선 검출기의 제조방법
6 6
신호취득회로가 집적되는 기판과;상기 신호취득회로와 전기적으로 연결된 적어도 두 개 이상의 적외선 검출소자로 이루어진 센서 어레이와;진공의 내부 공간 내에 상기 센서 어레이가 위치하도록 상기 기판에 접합되되, 적외선에 대해 투광성을 갖는 윈도우 캡과;상기 윈도우 캡의 양면에 코팅되는 무반사 코팅층과;상기 윈도우 캡의 내측 면에 마련되어 가스를 흡착하는 게터와;상기 기판에 마련되어 상기 신호취득회로와 전기적으로 연결되는 전극부를 포함하는 적외선 검출기
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패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 한국광기술원 광산업기술력향상사업 열영상용 볼로미터형 적외선 센서 공정기술 지원