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금속 기판 또는 고무 기판인 제 1 기판과 실리콘계 기판인 제 2 기판을 접합하는 방법에 있어서,(1) 양 기판의 접합하고자 하는 표면을 산소 플라즈마로 처리하는 단계; (2) 상기 제 1 기판의 산소 플라즈마 처리된 표면을 아미노실란으로 코팅하는 단계; 및(3) 상기 제 1 기판의 아미노실란 코팅된 표면과 제 2 기판의 산소 플라즈마 처리된 표면이 접하도록 접촉시키는 단계를 포함하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서,상기 실리콘계 기판이 폴리디메틸실록산(PDMS) 기판인 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (1)에서 산소 플라즈마 처리가 50W 이상의 세기로 15초 이상 수행되는 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (2)의 아미노실란이, 말단의 아민이 치환기를 갖지 않고 실란에 2개 이상의 알콕시기가 치환된 것임을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (2)의 아미노실란이 3-아미노프로필트리에톡시실란(APTES), 3-아미노프로필트리메톡시실란(APTMS), N-(6-아미노헥실)-3-아미노프로필트리메톡시실란(AHAPS), N-(2-아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란(AEAPS) 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택된 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (2)에서 아미노실란 코팅을, 코팅하고자 하는 기판의 표면을 1 부피% 이상의 농도의 아미노실란 용액에 노출시켜 수행하는 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 단계 (3)에서, 양 기판이 서로 접하도록 접촉시킨 상태에서 압력을 가하는 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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제 1 금속 기판, 실리콘계 기판, 및 제 2 금속 기판을 순차적으로 접합하는 방법에 있어서,(1) 제 1 금속 기판과 제 2 금속 기판의 접합하고자 하는 표면, 및 실리콘계 기판의 양 표면을 산소 플라즈마로 처리하는 단계;(2) 상기 제 1 금속 기판과 제 2 금속 기판의 산소 플라즈마 처리된 표면을 아미노실란으로 코팅하는 단계; 및(3) 상기 제 1 금속 기판, 실리콘계 기판, 및 제 2 금속 기판이 순차적으로 접합되도록 접촉시키되, 상기 제 1 금속 기판의 아미노실란 코팅된 표면과 상기 실리콘계 기판의 산소 플라즈마 처리된 일 표면이 접하고, 상기 제 2 금속 기판의 아미노실란 코팅된 표면과 상기 실리콘계 기판의 산소 플라즈마 처리된 다른 표면이 접하도록 접촉시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판의 접합 방법
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