1 |
1
기판;상기 기판상에 형성되는 전면 전극층;상기 전면 전극층 상에 형성되는 옥사이드층;상기 옥사이드층 상에 형성되는 것으로, 비정질 실리콘 박막(a-Si:H), 미세결정질 실리콘 박막(Micro-Crystalline Silicon, mc-Si:H), 결정질 실리콘 박막(Crystalline Silicon, Si:H), 다결정질 실리콘 박막(Polycrystalline Silicon, pc-Si:H) 및 나노결정질 실리콘박막(Nano-Crystalline Silicon, nc-Si:H) 중에서 선택되는 광 흡수층(intrinsic layer); 및상기 광 흡수층 상에 형성되는 후면 전극층을 포함하고, 상기 옥사이드층은 MoO3, WO3, V2O5 및 CrO3 중에서 선택되는 물질로 형성되는 박막 태양전지
|
2 |
2
청구항 1에 있어서, 상기 옥사이드층의 두께는 1nm 내지 30nm인 박막 태양전지
|
3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 후면 전극층은,상기 광 흡수층 상에 형성되는 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함하고, 상기 제1 전극층은 LiF, Liq, CsCl, ZrO2, Al2O3 및 SiO2 중에서 선택되는 물질로 형성되고, 상기 제2 전극층은 Al, Ag, Mg, Ca 및 Li 중에서 선택되는 물질로 형성되는 박막 태양전지
|
4 |
4
청구항 3에 있어서, 상기 제1 전극층은 LiF로 형성되고, 상기 제2 전극층은 Al로 형성되는 박막 태양전지
|
5 |
5
청구항 3에 있어서, 상기 제1 전극층의 두께는 0
|
6 |
6
청구항 1에 있어서, 상기 기판은 FTO(Fluorine Tin Oxide)가 코팅된 유리 기판인 박막 태양전지
|
7 |
7
청구항 1에 있어서, 상기 전면 전극층은, FTO(Fluorine Tin Oxide), ITO(Indium Tin Oxide), ZnO:Al, AgO 및 이들의 혼합물로 이루어진 군에서 선택되거나, ITO/GZO 또는 ZnO/AZO로 이루어진 이중층으로 형성되는 박막 태양전지
|
8 |
8
삭제
|
9 |
9
청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 따른 박막 태양전지의 제조방법에 있어서, 상기 옥사이드층의 형성은 열 증착법(thermal evaporation), 스퍼터링(sputtering) 공정 또는 전자빔 증착(E-beam evaporation)을 이용하여 이루어지는 박막 태양전지의 제조방법
|
10 |
10
청구항 9에 있어서, 상기 후면 전극층은 상기 광 흡수층 상에 형성되는 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함하여 형성되고, 상기 옥사이드층 및 상기 후면 전극층은 상기 열 증착법을 이용하여 형성되되, 상기 옥사이드층의 두께는 10nm 내지 30nm로 형성하고, 상기 제1 전극층의 두께는 1
|
11 |
11
청구항 9에 있어서, 상기 후면 전극층은 상기 광 흡수층 상에 형성되는 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 상에 형성되는 제2 전극층을 포함하여 형성되고, 상기 옥사이드층은 상기 스퍼터링 공정을 이용하여 형성되고, 상기 후면 전극층은 상기 열 증착법을 이용하여 형성되되,상기 옥사이드층의 두께는 5nm 내지 10nm로 형성하고, 상기 제1 전극층의 두께는 1
|