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구조적 특성이 서로 다른 질화규소(SiNx)를 상층과 하층으로 성막시키되, 하층 입자상은 둥글게 독립적으로 성장시킨 다공성 모폴로지(porous morphology)를 가지며, 상층의 입자상은 밀집된 모폴로지(dense morphology)를 갖는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 1항에 있어서, 상기 질화규소(SiNx)의 하층의 광 투과도는 70% 이상인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 1항에 있어서, 상기 질화규소(SiNx)의 상층의 광 투과도는 80% 이상인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 1항에 있어서, 상기 다층박막봉지의 총 두께는 300 ~ 600 nm인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 1항에 있어서, 상기 두 층으로 구성된 질화규소(SiNx)의 투습도는 0
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DLC(Diamond Like Carbon) 박막층을 하층으로 하고, 질화규소(SiNx) 박막층을 상층으로 성막시킨 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 8항에 있어서, 상기 다층박막봉지는 DLC층과 질화규소층으로 이루어진 층이 반복하여 성막될 수 있는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 8항에 있어서, 상기 DLC(Diamond Like Carbon) 박막층의 두께는 15 ~ 25nm인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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11
제 8항에 있어서, 상기 질화규소(SiNx) 박막층의 두께는 120 ~ 180 nm인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 8항에 있어서, SiNx/DLC로 이루어진 다층박막 봉지는 80% 이상의 광 투과율을 갖는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지
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제 8항에 있어서, SiNx/DLC로 이루어진 다층박막 봉지는 0
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하층에 둥글게 독립적으로 성장시킨 다공성 모폴로지(porous morphology)를 갖는 질화규소(SiNx)층을 성막시키는 단계 (단계1); 및상층에 밀집된 모폴로지(dense morphology)를 갖는 질화규소(SiNx)층을 성막시키는 단계 (단계2)를 포함하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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제 15항에 있어서, 상층 및 하층의 질화규소(SiNx)층은 열선기상화학증착(hot-wire chemical vapor deposition, HWCVD) 시스템을 이용하여 성막되는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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제 16항에 있어서, 기판의 온도는 80 ~ 150 ℃인 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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하층에 DLC(Diamond Like Carbon) 박막층을 성막시키는 단계 (단계 1); 및상층에 질화규소(SiNx) 박막층을 성막되는 단계 (단계 2)를 포함하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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제 18항에 있어서, 상기 DLC(Diamond Like Carbon)층은 플라즈마 증강 열선기상화학증착(plasma enhanced hot-wire chemical vapor deposition, PE-HWCVD) 시스템을 이용하되, 기판의 온도는 80 ~ 150 ℃로 하여 성막시키는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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제 18항에 있어서, 상기 질화규소(SiNx)층은 열선기상화학증착(hot-wire chemical vapor deposition, HWCVD) 시스템을 이용하되 기판의 온도를 80 ~ 150 ℃로 하여 성막되는 것을 특징으로 하는 유기태양전지용 다층박막봉지의 제조방법
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제 1항에 따른 다층박막봉지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지
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제 8항에 따른 다층박막봉지를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기태양전지
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