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유연기판을 포함하는 기능성 박막 및 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법

기술번호 : KST2014053725
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	유연기판을 포함하는 기능성 박막이 개시되며, 상기 유연기판을 포함하는 기능성 박막은 유연기판; 상기 유연기판 상에 형성되는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 형성되고, 가시광선 영역에서 투명 상태를 유지하는 산화물을 포함하는 투명 반도체층; 상기 투명 반도체층 상에 형성되는 절연보호막; 및 상기 절연보호막 상에 형성되는 지문방지막을 포함하되, 상기 투명 반도체층의 면저항은 10MΩ/□ ~ 100MΩ/□이다.
Int. CL	G06F 3/041 (2006.01) B32B 27/06 (2006.01)
CPC	B32B 27/06(2013.01) B32B 27/06(2013.01) B32B 27/06(2013.01) B32B 27/06(2013.01) B32B 27/06(2013.01)
출원번호/일자	1020120011773 (2012.02.06)
출원인	성균관대학교산학협력단
등록번호/일자	10-1270753-0000 (2013.05.28)
공개번호/일자
공고번호/일자	(20130603) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.02.06)
심사청구항수	12

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단	대한민국	경기도 수원시 장안구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	한전건	대한민국	서울 송파구
2	최윤석	대한민국	경기 수원시 장안구
3	진수봉	대한민국	경기 수원시 팔달구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	특허법인엠에이피에스	대한민국	서울특별시 강남구 테헤란로길 , 층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	성균관대학교산학협력단		경기도 수원시 장안구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2012-0095075-14
2	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.04.26	수리 (Accepted)	4-1-2012-5090770-53
3	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2012-5131828-19
4	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2012.06.27	수리 (Accepted)	4-1-2012-5137236-29
5	등록결정서 Decision to grant	2013.05.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0357104-11
6	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 유연기판을 포함하는 기능성 박막에 있어서,유연기판;상기 유연기판 상에 형성되는 버퍼층;상기 버퍼층 상에 형성되고, 가시광선 영역에서 투명 상태를 유지하는 산화물을 포함하는 투명 반도체층;상기 투명 반도체층 상에 형성되는 절연보호막; 및상기 절연보호막 상에 형성되는 지문방지막을 포함하되,상기 투명 반도체층의 면저항은 10MΩ/□ ~ 100MΩ/□인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
2	2 제 1항에 있어서,상기 유연기판은 PET(polyethylene terephthalate), PC(polycarbonate), PI(polyimide), 및 PEN(polyethylene naphthalate) 중 적어도 하나를 포함하는 유연기판을 포함하는 기능성 박막
3	3 제 1항에 있어서,상기 버퍼층은 SiOX 또는 SiNX인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
4	4 제 1항에 있어서,상기 산화물은 SnO2이고, 플루오린을 이용하여 n형 도핑된 것인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
5	5 제 1항에 있어서,상기 산화물은 ZnO이고, 알루미늄, 갈륨, 및 붕소 중 하나를 이용하여 n형 도핑된 것인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
6	6 제 1항에 있어서,상기 투명 반도체층은 박막 두께가 1nm ~ 100nm인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
7	7 제 1항에 있어서,상기 절연보호막은 SiOX인 유연기판을 포함하는 기능성 박막
8	8 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법에 있어서,(a) 유연기판 상에 버퍼층을 형성하는 단계;(b) 상기 버퍼층 상에 투명 반도체층을 형성하는 단계;(c) 상기 투명 반도체층에 대하여 n형 도핑을 수행하여 상기 투명 반도체층의 저항을 조절하는 단계;(d) 상기 투명 반도체층 상에 SiOX로 절연보호막을 형성하는 단계; 및(e) 상기 절연보호막 상에 지문방지막을 형성하는 단계를 포함하되,상기 투명 반도체층의 면저항은 10MΩ/□ ~ 100MΩ/□인 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법
9	9 제 8항에 있어서,상기 버퍼층은 SiOX 또는 SiNX인 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법
10	10 제 8항에 있어서,상기 (c) 단계는 알루미늄, 갈륨, 및 붕소 중 하나로 n형 도핑을 하는 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법
11	11 제 8항에 있어서,상기 (c) 단계는 n형 도핑의 반응기체인 수소의 유입량을 조절하여 도핑 농도를 조절할 수 있는 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법
12	12 제 11항에 있어서,상기 투명 반도체층은 도핑 농도 조절을 통해 저항 및 가시광선 투과도가 조절되는 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
1	KR101306022	KR	대한민국	FAMILY
2	US08933445	US	미국	FAMILY
3	US09006042	US	미국	FAMILY
4	US20130181213	US	미국	FAMILY
5	US20150079768	US	미국	FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번	패밀리번호	국가코드	국가명	종류
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특허 등록번호	10-1270753-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120206 출원 번호 : 1020120011773 공고 연월일 : 20130603 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20130524 청구범위의 항수 : 12 유별 : G06F 3/041 발명의 명칭 : 유연기판을 포함하는 기능성 박막 및 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법 존속기간(예정)만료일 : 20180529

특허권자란

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순위번호	사항
1	(권리자) 성균관대학교산학협력단 경기도 수원시 장안구...

등록료란

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제 1 - 3 년분	금 액	256,500 원	2013년 05월 28일	납입
제 4 년분	금 액	212,800 원	2016년 03월 28일	납입
제 5 년분	금 액	212,800 원	2017년 03월 29일	납입

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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.02.06	수리 (Accepted)	1-1-2012-0095075-14
2	출원인정보변경(경정)신고서	2012.04.26	수리 (Accepted)	4-1-2012-5090770-53
3	출원인정보변경(경정)신고서	2012.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2012-5131828-19
4	출원인정보변경(경정)신고서	2012.06.27	수리 (Accepted)	4-1-2012-5137236-29
5	등록결정서	2013.05.24	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0357104-11
6	출원인정보변경(경정)신고서	2017.02.23	수리 (Accepted)	4-1-2017-5028829-43


기술번호	KST2014053725
자료제공기관	NTB
기술공급기관	성균관대학교
기술명	유연기판을 포함하는 기능성 박막 및 유연기판을 포함하는 기능성 박막 적층 방법
기술개요	유연기판을 포함하는 기능성 박막이 개시되며, 상기 유연기판을 포함하는 기능성 박막은 유연기판; 상기 유연기판 상에 형성되는 버퍼층; 상기 버퍼층 상에 형성되고, 가시광선 영역에서 투명 상태를 유지하는 산화물을 포함하는 투명 반도체층; 상기 투명 반도체층 상에 형성되는 절연보호막; 및 상기 절연보호막 상에 형성되는 지문방지막을 포함하되, 상기 투명 반도체층의 면저항은 10MΩ/□ ~ 100MΩ/□이다.
개발상태	기술개발진행중
기술의 우수성
응용분야	재료공학
시장규모 및 동향
희망거래유형	기술매매,라이센스,
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	1711002442
세부과제번호	2011-0031643
연구과제명	차세대 플라즈마 나노 융합 그린에너지 및 플렉시블 전자신소재 공정기술 개발
성과구분	등록
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201111~201706
기여율	0.5
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	NT(나노기술)


과제고유번호	1711003443
세부과제번호	2012K1A3A1A26034917
연구과제명	바이오센서를 위한 고기능 카본 박막 합성 및 이론적 기반 확립
성과구분	등록
부처명	미래창조과학부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201212~201411
기여율	0.5
연구개발단계명	개발연구
6T분류명	NT(나노기술)

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