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오브젝트에 대해 듀얼 스테레오 빔을 발생시키는 레이저 발생부;
상기 레이저 발생부에 의해 상기 오브젝트로 발생된 제1 스테레오 빔에 의해 측정되는 제1 투과율 데이터를 이용하여, 상기 오브젝트에 대한 스캐닝 속도를 조절하는 속도 조절부; 및
상기 듀얼 스테레오 빔에 의해 측정되는 투과율 데이터를 이용하여 상기 오브젝트에 대한 깊이 정보를 생성하는 정보 생성부
를 포함하는 스테레오 엑스레이 투과검사 시스템
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삭제
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제1항에 있어서,
상기 오브젝트는,
일정 방향으로 이동하는 컨베이어벨트 상에 위치하고,
상기 속도 조절부는,
상기 스캐닝 속도에 상응하여 상기 컨베이어벨트의 이동 속도를 제어 함으로써, 상기 레이저 발생부에서 발생된 제2 스테레오 빔에 의해 상기 오브젝트에서 제2 투과율 데이터가 측정되는 속도를 조절하도록 하는, 스테레오 엑스레이 투과검사 시스템
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제1항에 있어서,
상기 속도 조절부는,
상기 레이저 발생부에 의해 상기 오브젝트로 발생된 제1 스테레오 빔과 제2 스테레오 빔에 의해 각각 측정되는 제1 투과율 데이터와 제2 투과율 데이터를 조합하여, 상기 오브젝트에 대한 스캐닝 속도를 조절하는, 스테레오 엑스레이 투과검사 시스템
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제1항에 있어서,
상기 듀얼 스테레오 빔은,
상기 오브젝트에 대해 수직방향으로 발생되는 제2 스테레오 빔과, 상기 제2 스테레오 빔에 대해 설정된 경사각을 갖도록 발생되는 제1 스테레오 빔을 포함하는, 스테레오 엑스레이 투과검사 시스템
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제5항에 있어서,
상기 정보 생성부는,
상기 경사각에 따라 상이하게 겹쳐지는 상기 제1 스테레오 빔과 상기 제2 스테레오 빔으로부터 최근선(nearest neighbor)을 추출하고,
상기 추출된 최근선을 조합하여 상기 투과율 데이터를 생성하는, 스테레오 엑스레이 투과검사 시스템
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