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레이저 발생장치로부터 출력된 레이저 빔의 일부를 반사시키는 부분반사 미러;
상기 반사된 레이저 빔을 검출하는 포지션 센시티브 디텍터;
상기 검출된 레이저 빔을 이용하여 복수의 출력신호를 생성하는 PSD 신호처리회로; 및
상기 생성된 복수의 출력신호를 이용하여 상기 출력된 레이저 빔에 대한 출력을 산출하고, 상기 산출된 출력에 따라, 상기 레이저 발생장치를 제어하여 상기 레이저 발생장치로부터 출력되는 레이저 빔의 출력을 조절하는 제어 컴퓨터
를 포함하는 레이저 출력 제어 장치
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삭제
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삭제
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제1항에 있어서,
상기 제어 컴퓨터는,
상기 생성된 복수의 출력신호를 이용하여 레이저 피닝 위치를 인식하는, 레이저 출력 제어 장치
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5
제1항에 있어서,
상기 레이저 발생장치로부터 출력된 레이저 빔을 레이저 피닝 위치로 스캔하는 X/Y 스캐너
를 더 포함하고,
상기 제어 컴퓨터는,
상기 X/Y 스캐너를 제어하여 상기 레이저 피닝 위치를 조절하는, 레이저 출력 제어 장치
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6
제5항에 있어서,
상기 부분반사 미러는,
상기 레이저 발생장치에서 상기 X/Y 스캐너를 거쳐 출력된 레이저 빔의 일부를 반사시키는, 레이저 출력 제어 장치
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7
부분반사 미러를 이용하여 레이저 발생장치로부터 출력된 레이저 빔의 일부를 반사시키는 단계;
포지션 센시티브 디텍터를 통해 상기 반사된 레이저 빔을 검출하는 단계;
PSD 신호처리회로에서 상기 검출된 레이저 빔을 이용하여 복수의 출력신호를 생성하는 단계;
상기 생성된 복수의 출력신호를 이용하여 상기 출력된 레이저 빔에 대한 출력을 산출하는 단계; 및
상기 산출된 출력에 따라, 상기 레이저 발생장치를 제어하여 상기 레이저 발생장치로부터 출력되는 레이저 빔의 출력을 조절하는 단계
를 포함하는 레이저 출력 제어 방법
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9
삭제
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10
제7항에 있어서,
PSD 신호처리회로에서 상기 검출된 레이저 빔을 복수의 출력신호로 생성하는 단계; 및
상기 생성된 복수의 출력신호를 이용하여 레이저 피닝 위치를 인식하는 단계
를 더 포함하는, 레이저 출력 제어 방법
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11
제7항에 있어서,
X/Y 스캐너에서 상기 레이저 발생장치로부터 출력된 레이저 빔을 레이저 피닝 위치로 스캔하는 단계; 및
상기 X/Y 스캐너를 제어하여 상기 레이저 피닝 위치를 조절하는 단계
를 더 포함하는, 레이저 출력 제어 방법
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