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1
유기규소화합물, 폴리머 전구체 및 용매를 혼합한 고분자 용액을 제조하는 단계(단계 1);
상기 단계 1에서 얻어진 고분자 용액을 전기방사시켜 나노섬유를 제조하는 단계(단계 2);
상기 단계 2에서 얻어진 나노섬유를 산화시키는 단계(단계 3); 및
상기 단계 3에서 얻어진 나노섬유를 열처리하는 단계(단계 4);
를 포함하는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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2
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 상기 폴리머 전구체의 함량은 유기규소화합물에 대하여 1 내지 20 중량%가 되도록 첨가하는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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3
제2항에 있어서, 상기 단계1에서 상기 폴리머 전구체의 함량은 유기규소화합물에 대하여 2 내지 10 중량%가 되도록 첨가하는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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4
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 유기규소화합물은 클로로실란, 디클로로 실란, 에틸디클로로실란, 디메틸디메톡시실란, 트리클로로실란, 메틸디클로로실란, 알콕시실란, 아미노실란, 불소알킬 실란으로 구성되는 군으로부터 선택되는 1이상인 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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5
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 폴리머 전구체는 폴리벤즈이미다졸, 폴리비닐클로라이드, 푸르프릴알콜, 페놀, 셀룰로오스, 석유계 핏치, 석탄계 핏치, 폴리이미드 및 폴리아크릴로니트릴로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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6
제1항에 있어서, 상기 단계 1에서 용매는 벤젠, 톨루엔, 디메틸포름알데하이드, 핵산 및 클로로포름으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1 이상의 유기용매 또는 물인 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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7
제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 탄화규소 나노섬유의 산화는 1 - 5 ℃/min의 속도로 승온시키는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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8
제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 탄화규소 나노섬유의 산화는 최종온도 200 - 300 ℃ 범위에서 시키는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 단계 3에서 탄화규소 나노섬유의 산화는 5 - 10시간 동안 수행하는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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10
제1항에 있어서, 상기 단계 4에서 탄화규소 나노섬유의 열처리는 5 - 10 ℃/min의 속도로 승온시키는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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11
제1항에 있어서, 상기 단계 4에서 탄화규소 나노섬유의 열처리는 최종온도 1200 - 1600 ℃ 범위에서 시키는 것을 특징으로 하는 전기전도성을 갖는 탄화규소 나노섬유의 제조방법
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12
제1항에 있어서, 상기 단계 4에서 탄화규소 나노섬유의 열처리는 0
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제1항의 제조방법에 의해 제조되고, 면저항이 1 - 1
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