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다공성 고분자 구조체를 준비하는 단계;
상기 다공성 고분자 구조체에 금속을 코팅하는 단계; 및
상기 금속이 코팅된 다공성 고분자 구조체에 존재하는 고분자 성분을 제거하여 비어있는 내부와 상기 다공성 고분자 구조체에 의해 공극이 형성된 표면을 갖는 다공성 금속 타겟을 제조하는 단계
를 포함하는 극자외선 발생용 다공성 금속 타겟의 제조 방법
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제1항에 있어서,
상기 다공성 고분자 구조체가 폴리에틸렌으로 이루어진 극자외선 발생용 다공성 금속 타겟의 제조 방법
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3
제1항에 있어서,
상기 금속이 주석인 극자외선 발생용 다공성 금속 타겟의 제조 방법
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극자외선 발생용 다공성 금속 타겟에 있어서
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레이저 펄스 발생 장치를 이용하여 제1 및 제2 레이저 펄스를 순차적으로 생성하는 단계;
비어있는 내부 및 공극이 형성된 표면을 갖는 다공성 금속 타겟에 상기 제1 레이저 펄스를 조사하여 상기 다공성 금속 타겟을 구성하는 금속을 이온화시킴으로써 금속 이온 플라즈마를 생성하는 단계; 및
상기 제2 레이저 펄스를 상기 금속 이온 플라즈마에 조사하는 단계
를 포함하는 극자외선 생성 방법
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제5항에 있어서,
상기 제1 및 제2 레이저 펄스는 각각 3 내지 7 nsec 동안 조사되는 것을 특징으로 하는 극자외선 생성 방법
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7
제5항에 있어서,
상기 제2 레이저 펄스는 상기 제1 레이저 펄스 조사 후 10 내지 20 nsec 후에 조사되는 것을 특징으로 하는 극자외선 생성 방법
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8
제5항에 있어서,
상기 레이저 펄스 발생 장치는,
레이저를 연속적으로 발생시키기 위한 레이저 발진기; 및
상기 레이저 발진기로부터 발생된 레이저를 복수의 순차적인 레이저 펄스 형태로 변조시키기 위한 광변조기
를 포함하며,
상기 제1 및 제2 레이저 펄스를 순차적으로 생성하는 단계는,
상기 광변조기에 인가되는 전압을 조절하여 상기 제1 및 제2 레이저 펄스의 펄스 폭과 상기 제1 및 제2 레이저 펄스의 피크 사이의 시간 간격을 조절하는 단계
를 포함하는 극자외선 생성 방법
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제5항에 있어서,
상기 제1 레이저 펄스의 진폭이 상기 제2 레이저 펄스의 진폭보다 크고, 상기 제1 레이저 펄스의 반치폭이 상기 제2 레이저 펄스의 반치폭보다 작은 극자외선 생성 방법
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