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탄화규소 피복 그라파이트 제조방법

  • 기술번호 : KST2014054054
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 외부 충격에 대한 저항성이 우수하고, 박리 강도가 높은 탄화규소 피복 그라파이트 제조방법 및 이에 의한 탄화규소 피복 그라파이트에 관한 것이다. 이를 위해, 본 발명에 따른 탄화규소 피복 그라파이트는 그라파이트 기재를 반응 챔버 내에 배치하는 그라파이트 기재 준비 단계; 및 상기 그라파이트 기재의 표면에 화학 기상 증착에 의하여 탄화규소 막을 피복하는 탄화규소 피복 단계를 포함하며, 상기 탄화규소 피복 단계는 상기 반응 챔버 내의 압력을 조절하여 상기 그라파이트 기재에 증착되는 상기 탄화규소 막의 응력을 조절하도록 이루어지며, 상기 탄화규소 막의 응력 조절이 이루어지는 상기 챔버 내의 압력은 0.63 torr 내지 4.5 torr일 수 있다. 그라파이트, 탄화규소, SiC, 코팅
Int. CL C04B 35/52 (2006.01) C01B 31/04 (2006.01)
CPC C01B 32/205(2013.01) C01B 32/205(2013.01) C01B 32/205(2013.01) C01B 32/205(2013.01)
출원번호/일자 1020090093335 (2009.09.30)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자 10-1101368-0000 (2011.12.26)
공개번호/일자 10-2011-0035560 (2011.04.06) 문서열기
공고번호/일자 (20120102) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.09.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최균 대한민국 경기도 광주시
2 김경자 대한민국 경기도 군포시
3 김효한 대한민국 인천시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 서만규 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)
2 서경민 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *** *층 (역삼동, 현죽빌딩)(특허법인성암)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2009.09.30 수리 (Accepted) 1-1-2009-0604144-80
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2011.03.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-2011-0029730-50
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2011.04.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0201252-11
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0447954-10
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2011.06.14 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0447956-01
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2011.09.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0554267-85
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2011.10.11 수리 (Accepted) 1-1-2011-0792087-32
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2011.10.11 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2011-0792088-88
10 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2011.10.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0595496-28
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.01.03 수리 (Accepted) 4-1-2014-0000353-25
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.03.31 수리 (Accepted) 4-1-2015-5040685-78
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
그라파이트 기재를 반응 챔버 내에 배치하는 그라파이트 기재 준비 단계; 및 상기 그라파이트 기재의 표면에 화학 기상 증착에 의하여 탄화규소 막을 피복하는 탄화규소 피복 단계를 포함하며; 상기 탄화규소 피복 단계는 상기 반응 챔버 내의 압력을 조절하여 상기 그라파이트 기재에 증착되는 상기 탄화규소 막의 응력을 조절하도록 이루어지며, 상기 탄화규소 막의 응력 조절이 이루어지는 상기 챔버 내의 압력은 0
2 2
제 1항에 있어서, 상기 탄화규소 피복 단계 전에, 상기 그라파이트 기재와 탄화규소 막의 사이에 그라파이트와 탄화규소가 섞여 있는 혼합층을 형성하는 혼합층 형성 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그라파이트 제조방법
3 3
삭제
4 4
제 1항에 있어서, 상기 그라파이트 기재 준비 단계에서, 상기 그라파이트 기재는 표면 기공의 평균 지름이 1
5 5
제 2항에 있어서, 상기 혼합층은 두께가 25 ㎛ 내지 300 ㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 피복 그라파이트 제조방법
6 6
제 1항에 있어서, 상기 탄화규소 막은 두께가 40 ㎛ 내지 95 ㎛로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄화규소 피복 그라파이트 제조방법
7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.