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반도체 기판;상기 반도체 기판 상에서 제 1 방향을 따라 평행하게 제공되고, 상기 제 1 방향의 수직 방향인 제 2 방향을 따라 서로 이격되어 제공되고, 소정의 갭을 갖는 제 1 내지 제 3 스플릿-게이트들;상기 제 2 방향을 따라 제 1 내지 제 3 스플릿-게이트들의 갭 상에 제공되는 중앙 게이트; 및신호를 발생하고, 상기 신호를 상기 제 1 스플릿-게이트에 공급하는 신호 발생기를 포함하고,상기 제 1 내지 제 3 스플릿-게이트들에 음전압이 인가되고, 상기 중앙 게이트에 양전압이 인가되고, 상기 제 1 내지 제 3 스플릿-게이트들 및 상기 중앙 게이트에 의해 양자점이 형성되며,상기 제 1 스플릿-게이트는 상기 신호에 따라 상기 양자점으로 전자를 펌핑하여 펌핑 전류를 출력하는 단전자 펌프
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제 1 항에 있어서,절대 온도 4
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제 1 항에 있어서,상기 반도체 기판은 GaAs/AlGaAs 헤테로구조이고, 상기 GaAs/AlGaAs 헤테로 구조의 접합면에 위치한 2차원 전자 가스를 포함하는 단전자 펌프
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제 1 항에 있어서,상기 신호의 주파수는 10[MHz] 내지 1[GHz]의 범위를 갖는 단전자 펌프
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 내지 제 3 스플릿-게이트들에 서로 다른 전압들을 공급하는 전압 발생기를 더 포함하는 단전자 펌프
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제 5 항에 있어서,상기 전압 발생기는 상기 제 2 스플릿-게이트에 인가되는 상기 음전압을 조절하여 상기 출력되는 펌핑 전류의 크기를 제어하는 단전자 펌프
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제 6 항에 있어서,상기 제 2 스플릿-게이트에 인가되는 상기 음전압이 감소할수록 상기 출력되는 펌핑 전류의 크기가 단계적으로 증가되는 단전자 펌프
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8 |
8
제 5 항에 있어서,상기 전압 발생기는 상기 중앙 게이트에 인가되는 상기 양전압을 조절하여 상기 출력되는 펌핑 전류의 평활면의 편평도를 제어하는 단전자 펌프
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9
제 8 항에 있어서,상기 중앙 게이트에 인가되는 상기 양전압이 증가할수록 상기 출력되는 펌핑 전류의 평활면의 편평도가 점진적으로 향상되는 단전자 펌프
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10
제 1 항에 있어서,상기 신호의 주파수를 조절하여 상기 출력되는 펌핑 전류의 크기를 조절하는 단전자 펌프
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11
제 10 항에 있어서,상기 신호의 주파수가 증가할수록 상기 출력되는 펌핑 전류의 크기가 상기 신호의 주파수에 비례하여 점진적으로 상승되는 단전자 펌프
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