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나노입자 합성장치로서, 챔버; 상기 챔버의 일 측에 구비되며, 상기 챔버 내로 원료가스를 공급하기 위한 원료가스주입부; 및 상기 챔버의 또 다른 일 측에 구비되며, 상기 원료가스주입부로부터 상기 챔버 내로 주입된 원료가스에 레이저를 조사하기 위한 레이저조사부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 나노입자 합성장치는 상기 챔버의 일 측에 구비되어, 상기 레이저 조사부로부터 조사되는 레이저에 의하여 상기 원료가스로부터 합성되는 나노입자가 배출되는 배출부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저조사부는 커튼 형태로 레이저 빔을 조사하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저조사부로부터 조사되는 레이저는 연속파 레이저인 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 나노입자는 실리콘, 저마늄, 실리콘-저마늄 합금, 3-5족 반도체 화합물 및 금속 산화물계로 이루어진 군으로부터 선택된 물질로 이루어진 나노입자인 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 나노입자 합성장치는, 상기 챔버의 또 다른 일 측에 구비되며, 상기 레이저조사부에 의하여 조사된 레이저에 의하여 합성된 나노입자 및 미반응 가스가 상기 챔버로부터 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 1항에 있어서, 상기 레이저조사부는 상기 원료가스주입부에 의하여 공급되는 원료가스 진행 방향과 동일하지 않는 각도로 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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나노입자 합성장치로서, 챔버; 상기 챔버의 일 측에 구비되며, 원료가스를 상기 챔버 내로 공급하기 위한 복수 개의 원료가스주입노즐; 및 상기 챔버의 또 다른 일 측에 구비되며, 상기 복수 개의 원료가스주입노즐로부터 주입되는 원료가스에 레이저를 조사하기 위한 복수 개의 레이저조사부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 8항에 있어서, 상기 복수 개의 레이저조사부는 상기 복수 개의 원료가스주입노즐 각각에 대응하는 위치로 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 9항에 있어서, 상기 복수 개의 레이저조사부 각각은 상기 복수 개의 원료가스주입노즐 각각과, 상기 원료가스 진행 방향의 동일직선 상에 구비되는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 10항에 있어서, 상기 레이저는 연속파 레이저인 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 10항에 있어서, 상기 나노입자 합성장치는, 상기 챔버의 또 다른 일 측에 구비되며, 상기 레이저조사부에 의하여 조사된 레이저에 의하여 합성된 나노입자 및 미반응 가스가 상기 챔버로부터 배출되는 배출부를 포함하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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제 10항에 있어서, 상기 레이저조사부는 상기 원료가스주입부에 의하여 공급되는 원료가스 진행 방향과 동일하지 않는 각도로 레이저를 조사하는 것을 특징으로 하는 나노입자 합성장치
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레이저를 이용한 나노입자 합성방법으로, 챔버 내에 원료가스를 공급하는 단계; 상기 공급된 원료가스에 레이저를 조사하는 단계; 및 상기 조사된 레이저에 의하여 원료가스의 반응을 유도하여, 나노입자를 성장시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 나노입자 합성방법
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제 14항에 있어서, 상기 레이저는 커튼 형태로 조사되는 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 나노입자 합성방법
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제 14항에 있어서, 상기 원료가스는 상기 챔버 내의 복수 지점으로부터 공급되며, 상기 복수 지점으로부터 공급되는 원료가스 각각에 레이저가 조사되는 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 나노입자 합성방법
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제 14항에 있어서, 상기 레이저는 연속파 레이저인 것을 특징으로 하는, 레이저를 이용한 나노입자 합성방법
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