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실리콘 기판을 관통하는 비아홀을 형성하는 1단계;상기 비아홀이 형성된 기판의 일면에 다수의 관통홀이 형성된 도전성 캐리어를 밀착하는 2단계;상기 캐리어가 밀착된 상기 기판을 전해액에 침지하고 전해증착을 실시함으로써 상기 비아홀을 채우는 3단계; 및상기 비아홀이 채워진 기판에서 상기 캐리어를 분리하는 4단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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청구항 1에 있어서,상기 캐리어 위에 전도성막이 형성되는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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청구항 2에 있어서,상기 전도성막이 에칭액에 용해 가능한 재질인 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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청구항 3에 있어서,상기 전도성막이 전도성 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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청구항 2에 있어서,상기 전도성막이 상기 캐리어에 스핀 코팅으로 형성되는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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청구항 5에 있어서,상기 4단계에서 기판에서 캐리어의 분리는 에칭액이 캐리어의 관통홀에 들어가 전도성막과 접촉하여 전도성막을 녹임으로써 이루어지는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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삭제
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청구항 1에 있어서,상기 캐리어의 관통홀과 기판의 비아홀이 서로 어긋나게 배치되어 전해증착되는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 방법
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9
기판에 관통 전극을 형성하기 위한 장치로서,기판의 일면에 밀착되는 다수의 관통홀이 형성된 캐리어;상기 캐리어가 배치되는 베이스; 및상기 베이스에 기판과 캐리어를 고정하는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 장치
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10
청구항 9에 있어서,상기 캐리어 및 고정부가 원형이며, 상기 고정부는, 상기 기판과 캐리어의 사이를 밀착시켜 고정하고, 상기 기판에 형성된 관통 비아홀에 전해액이 유입되도록 윗부분이 개방된 링 형상인 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 장치
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11
청구항 10에 있어서,상기 고정부와 기판의 사이에 위치하는 패킹을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 장치
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12
청구항 9에 있어서,상기 캐리어와 전기적으로 연결되는 전극을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성 장치
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13
다수의 관통홀이 형성되고, 상부에 놓일 기판의 관통 비아홀을 전해증착으로 채워서 관통 전극을 형성하는데 사용되는 관통 전극 형성용 캐리어
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14
삭제
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15
청구항 13에 있어서,상기 관통홀 양 끝의 단면적이 서로 다른 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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16
청구항 13에 있어서,상기 기판과 접하는 쪽의 상기 관통홀의 직경이 수 마이크로미터인 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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17
청구항 15에 있어서,상기 관통홀의 내면이 경사진 형태인 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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청구항 15에 있어서,상기 관통홀의 내면이 지름이 서로 다른 2단 이상의 다단 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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19
청구항 13에 있어서,전도성 금속으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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20
청구항 13에 있어서,백금 또는 금으로 코팅된 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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21
청구항 13에 있어서,전도성막이 위에 형성된 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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22
청구항 21에 있어서,상기 전도성막이 전도성 폴리머로 이루어지는 것을 특징으로 하는 관통 전극 형성용 캐리어
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