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나노쌍정 구조가 형성된 구리재료의 형성방법

  • 기술번호 : KST2014054475
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 전해증착을 이용해 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료를 형성하는 방법에 관한 것으로, 전해액에 양극과 음극을 침지하는 단계; 및 상기 침지된 양극과 음극에 순방향의 전류를 인가하는 펄스전류 단계와 역방향의 전류를 인가하는 리버스전류 단계를 반복 실시하여 상기 음극 표면에 구리를 전해 증착하는 단계를 포함한다.본 발명에 의하면 전해증착 공정으로 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료를 형성함에 있어서 종래의 방법에 비하여 형성시간을 크게 단축할 수 있는 효과가 있다.나아가 저렴한 전해증착 공정을 이용하여 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료를 빠르게 대량생산할 수 있는 효과가 있다.최종적으로 전해증착 공정을 통해 대량으로 형성된 나노쌍정 구조 형성 구리를 각종 전자 소자의 배선재료로 사용할 수 있게 되어, 전자 소자의 성능이 향상되는 효과가 있다.
Int. CL C25D 1/04 (2006.01) C25D 5/18 (2006.01) C25D 3/38 (2006.01) C25D 7/06 (2006.01)
CPC C25D 1/006(2013.01) C25D 1/006(2013.01) C25D 1/006(2013.01) C25D 1/006(2013.01)
출원번호/일자 1020120019141 (2012.02.24)
출원인 한양대학교 에리카산학협력단
등록번호/일자 10-1255548-0000 (2013.04.11)
공개번호/일자 10-2012-0097344 (2012.09.03) 문서열기
공고번호/일자 (20130417) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020110016548   |   2011.02.24
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.02.24)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 대한민국 경기도 안산시 상록구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 유봉영 대한민국 경기 성남시 분당구
2 서성호 대한민국 서울 마포구
3 진상현 대한민국 서울 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다울 대한민국 서울 강남구 봉은사로 ***, ***호(역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한양대학교 에리카산학협력단 경기도 안산시 상록구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2012-0153079-46
2 [출원인변경]권리관계변경신고서
[Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status
2012.08.22 수리 (Accepted) 1-1-2012-0673338-29
3 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.10.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0873018-60
4 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2012.11.01 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2012.11.05 수리 (Accepted) 9-1-2012-0082190-16
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0750507-25
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0123093-73
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.12 수리 (Accepted) 1-1-2013-0123094-18
9 등록결정서
Decision to grant
2013.04.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0231417-75
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
전해증착을 이용해 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료를 형성하는 방법으로서,전해액에 양극과 음극을 침지하는 단계; 및상기 침지된 양극과 음극에 순방향의 전류를 인가하는 포워드펄스 단계와 역방향의 전류를 인가하는 리버스펄스 단계를 반복 실시하여 상기 음극 표면에 구리를 전해 증착하며,상기 리버스펄스 단계에서 인가되는 역방향 전류의 전류밀도가 2~30mA/cm2 범위이고, 역방향의 전류를 인가하는 시간이 0
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청구항 1에 있어서,상기 전해액의 pH가 5이하인 것을 특징으로 하는 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료의 형성방법
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삭제
4 4
삭제
5 5
청구항 1에 있어서,상기 포워드펄스 단계에서 전류를 인가하는 시간이 0
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청구항 1에 있어서,상기 포워드펄스 단계에서 인가되는 순방향 전류의 전류밀도가 200mA/cm2 이상인 것을 특징으로 하는 나노쌍정 구조가 형성된 구리재료의 형성방법
7 7
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8 8
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9 9
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10 10
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11 11
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