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진동 측정을 위한 미소센서

  • 기술번호 : KST2014054522
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본원발명은 진동 측정을 위한 센서에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 자기장 내에서 도체가 이동하는 경우에 유도전류가 발생하는 원리를 이용한다. 더욱 상세하게는 진동에 의한 힘에 의해 이동하는 질량체에 탄성을 가진 도체를 연결하고, 이 도체가 자기장 내에서 이동하여 발생하는 유도기전력을 이용하여 진동을 측정하는 실리콘 미세가공기술(Micromachining technology)에 기반한 진동 측정용 미소 센서에 관한 것이다. 질량체, 유도 기전력, 자성체, 진동
Int. CL G01H 11/06 (2006.01) G01H 17/00 (2006.01)
CPC
출원번호/일자 1020070127880 (2007.12.10)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자 10-0934217-0000 (2009.12.18)
공개번호/일자 10-2009-0060897 (2009.06.15) 문서열기
공고번호/일자 (20091229) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항 심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.12.10)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이명래 대한민국 부산 사상구
2 제창한 대한민국 대전광역시 유성구
3 이성식 대한민국 경상남도 밀양시
4 정성혜 대한민국 대전광역시 동구
5 최창억 대한민국 대전광역시 유성구
6 황건 대한민국 서울특별시 강남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인씨엔에스 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, 대림아크로텔 *층(도곡동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 대한민국(산업통상자원부장관) 세종특별자치시 한누리대
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2007.12.10 수리 (Accepted) 1-1-2007-0887559-58
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2009.01.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2009.02.16 수리 (Accepted) 9-1-2009-0008421-62
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2009.03.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0131911-78
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2009.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2009-0316805-28
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2009.05.26 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2009-0316807-19
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2009.08.04 수리 (Accepted) 4-1-2009-5150899-36
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2009.08.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0326420-80
9 명세서 등 보정서(심사전치)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2009.09.07 보정승인 (Acceptance of amendment) 7-1-2009-0045993-09
10 등록결정서
Decision to grant		 2009.11.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2009-0454594-28
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2015.02.02 수리 (Accepted) 4-1-2015-0006137-44
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판; 진동에 반응하여 움직일 수 있는 하나 이상의 질량체: 탄성을 가진 도체로 형성되어 상기 질량체를 지지하면서 상기 질량체의 움직임에 따라 움직이는 도체 스프링; 상기 도체 스프링에 연결되어 상기 질량체와 상기 도체 스프링을 상기 기판으로부터 이격되도록 하는 고정부; 및 상기 기판의 하부에 형성되어 균일한 자기장을 형성하는 자성체부를 포함하되, 상기 도체 스프링이 이루는 면적의 변화에 따라 발생하는 유도 전류를 측정하여 진동 여부를 감지하는 진동 측정을 위한 미소센서
2 2
제 1 항에 있어서, 상기 고정부는 상기 도체 스프링의 양단에 연결되는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소센서
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 질량체는 상기 도체 스프링의 중간에 위치하는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소센서
4 4
기판; 탄성을 가진 도체로 형성되어 진동에 따라 움직이는 질량체를 양 끝단에 구비하여 상기 질량체의 움직임에 따라 움직이는 도체 스프링; 상기 도체 스프링에 연결되어 상기 질량체와 상기 도체 스프링을 상기 기판으로부터 이격되도록 하는 고정부; 및 상기 기판의 하부에 형성되어 균일한 자기장을 형성하는 자성체부를 포함하되, 상기 도체 스프링이 이루는 면적의 변화에 따라 발생하는 유도 전류를 측정하여 진동 여부를 감지하는 진동 측정을 위한 미소센서
5 5
제 4 항에 있어서, 상기 고정부는 상기 도체 스프링의 양 끝단에 구비된 질량체가 움직일 수 있는 공간을 각각 형성하면서 상기 도체 스프링을 지지하는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소센서
6 6
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 도체 스프링과 상기 고정부를 포함하는 폐회로를 형성하는 저항부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소 센서
7 7
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 진동에 의해 상기 도체 스프링의 움직임에 의해 발생하는 유도전류를 전압으로 바꾸기 위한 변화부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소 센서
8 8
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 자성체부는 상기 고정부의 상부에 더 형성되는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 미소 센서
9 9
제 1 항 또는 제 4 항에 의한 진동 측정을 위한 미소 센서 2 개를 수직이 되도록 배치하여 2 축 이상의 진동을 측정하는 것을 특징으로 하는 진동 측정을 위한 장치
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 US07975550 US 미국 FAMILY
2 US20090320595 US 미국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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1 US2009320595 US 미국 DOCDBFAMILY
2 US7975550 US 미국 DOCDBFAMILY
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 정보통신부 한국전자통신연구원 IT원천기술개발 유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술개발