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다수의 파장을 가지는 광선들이 혼합된 광을 제공하는 광원;상기 광원으로부터 나온 빔을 파장별로 분리하는 기능을 수행하는 색분산 렌즈; 상기 색분산 렌즈를 통해 분리된 광을 집속시켜 주는 대물렌즈; 및대상 시료에 상기 광이 조사된 후 반사된 광을 검출하는 검출부를 포함하되,상기 대물 렌즈를 통해 전달된 광의 파장에 따라 대상 시료의 깊이별로 초점을 맺게 되며 각 초점으로부터 반사되어 광을 검출하고,상기 광원과 상기 색분산 렌즈 사이에는 입사된 빔을 2차원으로 스캔하는 기능을 수행하는 2축 주사거울이 구비되는 온도분포 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 검출부는 회절격자와 광신호 검출기 어레이를 포함하여 각 파장별로 광신호를 동시에 검출하는 온도분포 측정 장치
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제1 항에 있어서,상기 검출부는 단일 포토어레이를 구비하여 시간에 따라 파장별로 각 파장별 신호를 검출하는 온도분포 측정장치
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제4 항에 있어서,상기 광원은 시간에 따라 다른 파장을 발생시키는 파장가변 광원(Swept source 혹은 Tunable laser source)을 이용하거나, 광원의 외부에 파장가변 필터를 사용하여 시간에 따라 파장이 다른 광을 출력하도록 한 온도분포 측정장치
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제3 항 또는 제4 항에 있어서,상기 검출부에는 상기 회절격자 또는 단일포토어레이에 입사되는 광을 각 파장별 초점에서 반사된 빔을 선택적으로 통과시키기 위한 핀홀이 더 구비되는 온도분포 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 광원에서 출력되는 광과 상기 대상시료로부터 반사되는 광을 분리시키기 위한 광분배기가 더 구비되는 온도분포 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 2축 주사거울은 입사된 빔을 2차원으로 스캔하는 기능을 수행하는 것으로 갈바노 미러(galvano-mirror), 폴리곤 미러(polygon mirror), AOD(acustic optical deflector), DMD(digital micromirror device), raster scanner 중에서 선택된 어느 하나인 온도분포 측정장치
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제1 항에 있어서,상기 광원은 다중광선을 가지는 백색광, LED, 고체 광원 등 다수의 파장 선폭을 얻을 수 있는 광원인 온도분포 측정장치
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