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제1 전극 시트와, 이 제1 전극 시트의 이면에 배치된 이방 도전성 엘라스토머 시트와, 이 이방 도전성 엘라스토머 시트의 이면에 배치된 제2 전극 시트를 갖고 이루어지고,상기 제1 전극 시트는 전기 저항을 측정해야 할 회로 기판에 있어서의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 형성된 복수의 관통 구멍을 갖는 유연한 절연성 시트와, 이 절연성 시트의 표면에 상기 절연성 시트의 관통 구멍을 포위하도록 형성된 복수의 링 형상 전극과, 상기 절연성 시트의 이면에 형성되고, 상기 링 형상 전극에 전기적으로 접속된 중계 전극을 갖고 이루어지고,상기 이방 도전성 엘라스토머 시트는 상기 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 형성된 복수의 관통 구멍을 갖고,상기 제2 전극 시트는 상기 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 배치된 복수의 검사용 코어 전극과, 상기 제1 전극 시트에 있어서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 배치된 복수의 접속용 코어 전극과, 이들 검사용 코어 전극 및 접속용 코어 전극의 각각을 지지하는 절연성 지지 시트를 갖고 이루어지고,상기 검사용 코어 전극은 상기 이방 도전성 엘라스토머 시트의 관통 구멍 및 상기 제1 전극 시트에 있어서의 절연성 시트의 관통 구멍으로 진입하고, 상기 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터
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제1 전극 시트와, 이 제1 전극 시트의 표면에 배치된 제1 이방 도전성 엘라스토머 시트와, 상기 제1 전극 시트의 이면에 배치된 제2 이방 도전성 엘라스토머 시트와, 이 제2 이방 도전성 엘라스토머 시트의 이면에 배치된 제2 전극 시트를 갖고 이루어지고,상기 제1 전극 시트는 전기 저항을 측정해야 할 회로 기판에 있어서의 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 형성된 복수의 관통 구멍을 갖는 유연한 절연성 시트와, 이 절연성 시트의 표면에 상기 절연성 시트의 관통 구멍을 포위하도록 형성된 복수의 링 형상 전극과, 상기 절연성 시트의 이면에 형성되고, 상기 링 형상 전극에 전기적으로 접속된 중계 전극을 갖고 이루어지고,상기 제2 이방 도전성 엘라스토머 시트는 상기 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 형성된 복수의 관통 구멍을 갖고,상기 제2 전극 시트는 상기 피검사 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 배치된 복수의 검사용 코어 전극과, 상기 제1 전극 시트에 있어서의 중계 전극의 패턴에 대응하는 패턴에 따라서 배치된 복수의 접속용 코어 전극과, 이들 검사용 코어 전극 및 접속용 코어 전극의 각각을 지지하는 절연성 지지 시트를 갖고 이루어지고,상기 검사용 코어 전극은 상기 제2 이방 도전성 엘라스토머 시트의 관통 구멍 및 상기 제1 전극 시트에 있어서의 절연성 시트의 관통 구멍으로 진입하고, 상기 제1 이방 도전성 엘라스토머 시트를 통해 상기 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터
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제1항 또는 제2항에 있어서, 제2 전극 시트에 있어서의 검사용 코어 전극 및 접속용 코어 전극은 절연성 지지 시트의 두께 방향으로 이동 가능하게 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 전기 저항 측정용 커넥터
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전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면측에 배치되는, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터를 구비하여 이루어지고,피검사 회로 기판에 있어서의 일면측 피검사 전극의 각각에, 상기 전기 저항 측정용 커넥터에 있어서의 제1 전극 시트의 링 형상 전극 및 제2 전극 시트의 검사용 코어 전극이 동시에 전기적으로 접속되어 측정 가능 상태가 되고,이 측정 가능 상태에 있어서, 지정된 1개의 일면측 피검사 전극에 전기적으로 접속된 검사용 코어 전극 및 링 형상 전극 중, 그 한쪽을 전류 공급용 전극으로 하고, 다른 쪽을 전압 측정용 전극으로 하여 이용함으로써, 상기 지정된 1개의 일면측 피검사 전극에 관한 전기 저항의 측정이 실행되는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치
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제4항에 있어서, 피검사 회로 기판의 다른 면측에 배치되는 다른 면측 검사용 회로 기판을 구비하여 이루어지고,상기 다른 면측 검사용 회로 기판은 그 표면에 각각 상기 피검사 회로 기판의 다른 면측 피검사 전극의 각각에 대응하여 서로 이격되어 배치된, 각각 동일한 다른 면측 피검사 전극에 전기적으로 접속되는 전류 공급용 전극 및 전압 측정용 전극이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 장치
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전기 저항을 측정해야 할 피검사 회로 기판의 일면에, 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 기재된 전기 저항 측정용 커넥터를 배치하고,상기 피검사 회로 기판의 일면측 피검사 전극의 각각에, 상기 전기 저항 측정용 커넥터에 있어서의 제1 전극 시트의 링 형상 전극 및 제2 전극 시트의 검사용 코어 전극을 동시에 전기적으로 접속하여 측정 가능 상태로 하고,이 측정 가능 상태에 있어서, 지정된 1개의 일면측 피검사 전극에 전기적으로 접속된 검사용 코어 전극 및 링 형상 전극 중, 그 한쪽을 전류 공급용 전극으로 하고, 다른 쪽을 전압 측정용 전극으로 하여 이용함으로써, 상기 지정된 1개의 일면측 피검사 전극에 관한 전기 저항의 측정을 실행하는 것을 특징으로 하는 회로 기판의 전기 저항 측정 방법
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