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단결정 성장용 앰플 및 이를 포함하는 단결정 성장장치

  • 기술번호 : KST2014054895
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단결정 균일성을 확보할 수 있는 단결정 성장용 앰플 및 이를 포함하는 단결정 성장장치가 개시된다. 개시된 본 발명에 의한 단결정 성장장치는, 단결정 시료가 장착되는 앰플, 앰플을 가열하는 히터 및, 앰플 또는 히터를 상기 단결정 시료가 성장되는 방향으로 승하강시키는 구동부를 포함하며, 앰플은 단결정 성장방향으로 상호 적층되는 복수의 앰플 몸체를 포함한다. 이러한 구성에 의하면, 단결정 성장방향으로 긴 단결정 잉곳을 성장시킬 경우 발생되었던 원소비의 변화를 방지할 수 있어, 단결정의 균일성을 확보할 수 있게 된다.
Int. CL C30B 11/00 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01)
CPC C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01) C30B 11/002(2013.01)
출원번호/일자 1020100006814 (2010.01.26)
출원인 한국원자력연구원
등록번호/일자 10-1115708-0000 (2012.02.06)
공개번호/일자 10-2011-0087411 (2011.08.03) 문서열기
공고번호/일자 (20120306) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.01.26)
심사청구항수 6

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박세환 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재형 대한민국 대전시 서구
3 조윤호 대한민국 대전광역시 서구
4 하장호 대한민국 대전광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 무한 대한민국 서울특별시 강남구 언주로 ***, *층(역삼동,화물재단빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국원자력연구원 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.01.26 수리 (Accepted) 1-1-2010-0051972-65
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.10.25 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.11.18 수리 (Accepted) 9-1-2011-0090056-15
4 등록결정서
Decision to grant
2012.01.31 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0061408-31
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.06.22 수리 (Accepted) 4-1-2012-5134067-95
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.09.16 수리 (Accepted) 4-1-2014-5109542-64
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번호 청구항
1 1
단결정 성장에 채용되어 대상 시료가 장착되는 단결정 성장용 앰플에 있어서, 상기 시료가 단결정으로 성장되는 방향에 나란하게 다층 적층되어 연속 다체형을 형성시키는 복수의 앰플 몸체; 를 포함하는 단결정 성장용 앰플
2 2
제1항에 있어서, 상기 복수의 앰플 몸체에는 동일한 시료가 장착되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
3 3
제1항에 있어서, 상기 복수의 앰플 몸체는 석영(Quartz)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장용 앰플
4 4
단결정 시료가 장착되는 앰플;상기 앰플을 가열하는 히터; 및상기 앰플 또는 히터를 상기 단결정 시료가 성장되는 방향으로 승하강시키는 구동부; 를 포함하며, 상기 앰플은 상기 단결정 성장방향으로 상호 적층되는 복수의 앰플 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
5 5
제4항에 있어서, 상기 앰플 몸체는 석영(Quartz)으로 형성되며, 내부에 동일성분의 시료가 장착되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
6 6
제4항에 있어서, 상기 히터는 상호 온도차를 가지는 상부 및 하부 히터로 구획되는 것을 특징으로 하는 단결정 성장장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.