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마스터 제조방법

  • 기술번호 : KST2014055313
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 비평면 형태(3차원)의 피처리 물체에 마이크로-나노 일체형 패턴을 형성할 수 있게 한 마스터 제조방법이 개시된다. 이를 위한, 마스터 제조방법은 기판 상에 비평면 형상의 마이크로패턴을 형성하는 단계와, 상기 기판 상에 알루미늄을 형성하는 단계와, 상기 알루미늄 상에 산화막을 생성하는 단계와, 상기 산화막을 제거하는 단계와, 상기 산화막이 제거된 알루미늄 상에 복수의 홈(pore)이 형성된 다공성 나노 패턴을 형성하는 단계와, 상기 다공성 나노 패턴의 홈의 직경을 확장시키는 단계를 포함한다. 이에 따라, 비평면 형상의 표면을 갖는 소재의 표면에 마이크로-나노 일체형 구조물을 용이하게 제조할 수 있다.
Int. CL C25D 7/00 (2006.01) B82B 3/00 (2006.01) C25D 11/04 (2006.01) C25D 5/44 (2006.01)
CPC C25D 11/045(2013.01) C25D 11/045(2013.01)
출원번호/일자 1020100054548 (2010.06.09)
출원인 강원대학교산학협력단
등록번호/일자 10-1192425-0000 (2012.10.11)
공개번호/일자 10-2011-0134776 (2011.12.15) 문서열기
공고번호/일자 (20121018) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2010.06.09)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 대한민국 강원도 춘천시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병희 대한민국 강원도 춘천시 행촌로 **,
2 서영호 대한민국 강원도 춘천시 지석로 **,
3 신홍규 대한민국 강원도 강릉시 남
4 박용민 대한민국 강원도 원주시 일
5 강 명 대한민국 강원도 홍천군

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 신지 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 ***호실(역삼동, 청원빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 강원대학교산학협력단 강원도 춘천시
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2010.06.09 수리 (Accepted) 1-1-2010-0371412-36
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2011.04.11 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.15 수리 (Accepted) 4-1-2011-5075634-10
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2011.05.12 수리 (Accepted) 9-1-2011-0038917-02
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.12.13 수리 (Accepted) 4-1-2011-5249875-98
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.03.08 수리 (Accepted) 4-1-2012-5049179-27
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.03.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0174326-13
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2012.05.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0422721-94
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2012.05.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2012-0422720-48
10 등록결정서
Decision to grant
2012.10.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0597960-94
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.05 수리 (Accepted) 4-1-2019-5230938-29
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판 상에 비평면 형상의 마이크로패턴을 형성하는 단계;상기 기판 상에 알루미늄을 형성하는 단계;상기 알루미늄 상에 산화막을 생성하는 단계;상기 산화막을 제거하는 단계;상기 산화막이 제거된 알루미늄 상에 복수의 홈(pore)이 형성된 다공성 나노 패턴을 형성하는 단계; 및상기 다공성 나노 패턴의 홈의 직경을 확장시키는 단계;를 포함하고,상기 기판 상에 비평면 형상의 마이크로패턴을 형성하는 단계에서,비평면 형상은 사각뿔, 구형, 육면체, 음각/양각형상 중 선택된 어느 하나의 형상인 것을 특징으로 하는 마스터 제조방법
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제1항에 있어서,상기 알루미늄 상에 산화막을 생성하는 단계와, 상기 다공성 나노 패턴을 형성하는 단계는 양극산화(AAO:Anodic Aluminum Oxidation)방법을 통하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스터 제조방법
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삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.