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유기박막 두께 측정방법 및 그 측정장치
- 기술번호 : KST2014055380
- 담당센터 : 대전기술혁신센터
- 전화번호 : 042-610-2279
| 요약 | 본 발명에 따른 유기박막 두께 측정방법은, 엑스선 발생부의 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정한다.유기박막, 두께, 콤프턴선, 피크높이, 피크면적, 검량선 |
|---|---|
| Int. CL | G01T 1/16 (2006.01) G01B 15/02 (2006.01) G01N 23/20 (2006.01) |
| CPC | G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) G01B 15/02(2013.01) |
| 출원번호/일자 | 1020090097588 (2009.10.14) |
| 출원인 | 한국원자력연구원 |
| 등록번호/일자 | 10-1127863-0000 (2012.03.12) |
| 공개번호/일자 | 10-2011-0040362 (2011.04.20) 문서열기 |
| 공고번호/일자 | (20120321) 문서열기 |
| 국제출원번호/일자 | |
| 국제공개번호/일자 | |
| 우선권정보 | |
| 법적상태 | 등록 |
| 심사진행상태 | 수리 |
| 심판사항 | |
| 구분 | 신규 |
| 원출원번호/일자 | |
| 관련 출원번호 | |
| 심사청구여부/일자 | Y (2009.10.14) |
| 심사청구항수 | 8 |
출원인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국원자력연구원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
발명자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 김종윤 | 대한민국 | 대전광역시 서구 |
| 2 | 최용석 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 3 | 박용준 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 4 | 연제원 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
| 5 | 송규석 | 대한민국 | 대전광역시 유성구 |
대리인
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 이원희 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 테헤란로 ***, 성지하이츠빌딩*차 ***호 (역삼동) |
최종권리자
| 번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
|---|---|---|---|
| 1 | 한국원자력연구원 | 대전광역시 유성구 |
| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2009.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0628765-74 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2011.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2011.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0049844-14 |
| 4 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2011.06.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0349322-45 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.08.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0662028-99 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0743469-32 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.10.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0825386-42 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief) |
2011.11.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0931351-64 |
| 9 | 지정기간연장관련안내서 Notification for Extension of Designated Period |
2011.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0111610-77 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2011.12.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-1035945-25 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2011.12.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-1035946-71 |
| 12 | 거절결정서 Decision to Refuse a Patent |
2011.12.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0779091-12 |
| 13 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Extension of Legal Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration) |
2012.01.16 | 수리 (Accepted) | 7-1-2012-0002109-16 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2012.02.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0156893-10 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서(재심사) Amendment to Description, etc(Reexamination) |
2012.02.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0156894-55 |
| 16 | 등록결정서 Decision to Grant Registration |
2012.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0141559-71 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5134067-95 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5109542-64 |
| 번호 | 청구항 |
|---|---|
| 1 |
1 삭제 |
| 2 |
2 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정하는 유기박막 두께 측정방법에 있어서, 엑스선 발생부의 표적물질에 고에너지의 전자를 충돌시켜 발생되는 엑스선 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료에 조사하는 엑스선 조사단계와, 상기 엑스선이 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료와 충돌 후에 발생하는 레일리 탄성 산란 엑스선, 콤프턴 비탄성 산란 엑스선, 형광 엑스선 중에서 콤프턴 산란 신호들만을 선별하여 검출하는 콤프턴선 검출단계와, 복수의 두께의 유기박막 표준시료에 대하여 상기 엑스선 조사단계와 상기 콤프턴선 검출단계를 수행하여, 서로 다른 콤프턴선들의 피크 높이를 합한 것으로부터의 산란 세기에 따라 검량선을 각각 결정하는 검량선 결정단계 및 상기 엑스선 조사단계와 상기 콤프턴선 검출단계를 통해 상기 유기박막 대상시료로부터 측정된 콤프턴선의 산란세기를 상기 검량선과 비교하여, 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정하는 유기박막 대상시료 두께결정단계를 포함하여 구성됨으로써, 콤프턴선 산란 신호의 피크 높이만을 이용하여 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정할 수 있도록 구성되며, 상기 검량선 결정단계에서, 상기 피크 높이는 상기 유기박막 표준시료의 두께에 비례하여 증가되고, 분석 검출한계(Low Limit of Detection, LLD)가 이하의 수학식을 통하여 결정되며, (공식 1)m= 검량선 기울기, Ib= 검량선의 y 절편, Tb= 측정시간 상기 엑스선 조사단계는, 상기 표적물질에 충돌하여 발생된 엑스선이 다른 표적물질에 다시 충돌되어 상기 유기박막에 조사되는 단계를 더 포함함으로써, 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료 및 측정조건에 따라 최적의 각도를 결정하여 검출한계 및 분석성능을 향상시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정방법 |
| 3 |
3 삭제 |
| 4 |
4 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정하는 유기박막 두께 측정방법에 있어서, 엑스선 발생부의 표적물질에 고에너지의 전자를 충돌시켜 발생되는 엑스선 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료에 조사하는 엑스선 조사단계와, 상기 엑스선이 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료와 충돌 후에 발생하는 레일리 탄성 산란 엑스선, 콤프턴 비탄성 산란 엑스선, 형광 엑스선 중에서 콤프턴 산란 신호들만을 선별하여 검출하는 콤프턴선 검출단계와, 다양한 두께의 유기박막 표준시료에 대하여 상기 엑스선 조사단계와 상기 콤프턴선 검출단계를 수행하여, 서로 다른 콤프턴선들의 피크 면적을 합한 것으로부터의 산란 세기에 따라 검량선을 각각 결정하는 검량선 결정단계 및 상기 엑스선 조사단계와 상기 콤프턴선 검출단계를 통해 상기 유기박막 대상시료로부터 측정된 콤프턴선의 산란세기를 상기 검량선과 비교하여, 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정하는 유기박막 대상시료 두께결정단계를 포함하여 구성됨으로써, 콤프턴선 산란 신호의 피크 높이만을 이용하여 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정할 수 있도록 구성되며, 상기 검량선 결정단계에서, 상기 피크 높이는 상기 유기박막 표준시료의 두께에 비례하여 증가되고, 분석 검출한계(Low Limit of Detection, LLD)가 이하의 수학식을 통하여 결정되며, (공식 1)m= 검량선 기울기, Ib= 검량선의 y 절편, Tb= 측정시간 상기 엑스선 조사단계는, 상기 표적물질에 충돌하여 발생된 엑스선이 다른 표적물질에 다시 충돌되어 상기 유기박막에 조사되는 단계를 더 포함함으로써, 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료 및 측정조건에 따라 최적의 각도를 결정하여 검출한계 및 분석성능을 향상시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정방법 |
| 5 |
5 삭제 |
| 6 |
6 제 2항 또는 제 4항에 있어서, 상기 표적물질은 로듐, 구리, 몰리브덴, 은, 크롬, 텅스텐, 가돌리늄, 지르코늄, 게르마늄, 철, 및 티타늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나이며, 상기 방사성 동위원소는 55Fe, 238Pu, 244Cm, 109Cd, 125I, 241Am, 153Gd, 57Co, 133Ba, 137Cs으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정방법 |
| 7 |
7 삭제 |
| 8 |
8 삭제 |
| 9 |
9 제 2항 또는 제 4항에 있어서, 상기 콤프턴선의 검출은 기체비례계수기, 가이거(Geiger)계수기, 섬광계수기, 및 반도체 검출기 중 어느 하나 이상이 이용되는 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정방법 |
| 10 |
10 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정하는 유기박막 두께 측정장치에 있어서, 고에너지 전자가 충돌되어 엑스선을 발생시키는 표적물질 또는 방사선 동위원소를 구비하여 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료에 상기 엑스선을 조사하는 엑스선 발생부와, 상기 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료로부터 반사된 상기 엑스선으로부터 콤프턴 산란된 콤프턴선을 분리하는 고체결정(crystal)과, 상기 고체결정을 통해 분리된 상기 콤프턴선을 검출하는 검출기를 구비하는 콤프턴선 검출부와, 다양한 두께의 상기 유기박막 표준시료에 대하여 상기 엑스선 발생부 및 상기 콤프턴선 검출부에 의해 측정된 서로 다른 콤프턴선의 피크 높이를 합한 것으로부터의 산란 세기에 따라 검량선을 각각 결정하는 검량선 결정부와, 상기 유기박막 대상시료에 대하여 상기 엑스선 발생부 및 상기 콤프턴선 검출부에 의해 측정된 콤프턴선의 산란세기를 상기 검량선과 비교하여 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정하는 두께 결정부를 포함함으로써, 콤프턴선 산란 신호의 피크 높이만을 이용하여 상기 유기박막 표준시료의 두께를 결정할 수 있도록 구성되며, 상기 검량선 결정부에서, 상기 피크 높이는 상기 유기박막 표준시료의 두께에 비례하여 증가되고, 분석 검출한계(Low Limit of Detection, LLD)가 이하의 수학식을 통하여 결정되며, (공식 1)m= 검량선 기울기, Ib= 검량선의 y 절편, Tb= 측정시간 상기 엑스선 발생부는, 상기 표적물질에 충돌되어 발생한 상기 엑스선이 다시 충돌되어 상기 유기박막에 조사되도록 하기 위한 다른 표적물질을 더 포함함으로써, 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료 및 측정조건에 따라 최적의 각도를 결정하여 검출한계 및 분석성능을 향상시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정장치 |
| 11 |
11 삭제 |
| 12 |
12 삭제 |
| 13 |
13 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정하는 유기박막 두께 측정장치에 있어서, 고에너지 전자가 충돌되어 엑스선을 발생시키는 표적물질 또는 방사선 동위원소를 구비하여 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료에 상기 엑스선을 조사하는 엑스선 발생부와, 상기 유기박막 표준시료 또는 유기박막 대상시료로부터 반사된 상기 엑스선으로부터 콤프턴 산란된 콤프턴선을 분리하는 고체결정(crystal)과, 상기 고체결정을 통해 분리된 상기 콤프턴선을 검출하는 검출기를 구비하는 콤프턴선 검출부와, 다양한 두께의 상기 유기박막 표준시료에 대하여 상기 엑스선 발생부 및 상기 콤프턴선 검출부에 의해 측정된 서로 다른 콤프턴선의 피크 면적을 합한 것으로부터의 산란 세기에 따라 검량선을 각각 결정하는 검량선 결정부와, 상기 유기박막 대상시료에 대하여 상기 엑스선 발생부 및 상기 콤프턴선 검출부에 의해 측정된 콤프턴선의 산란세기를 상기 검량선과 비교하여 상기 유기박막 대상시료의 두께를 결정하는 두께 결정부를 포함함으로써, 콤프턴선 산란 신호의 피크 면적만을 이용하여 상기 유기박막 표준시료의 두께를 결정할 수 있도록 구성되며, 상기 검량선 결정부에서, 상기 피크 높이는 상기 유기박막 표준시료의 두께에 비례하여 증가되고, 분석 검출한계(Low Limit of Detection, LLD)가 이하의 수학식을 통하여 결정되며, (공식 1)m= 검량선 기울기, Ib= 검량선의 y 절편, Tb= 측정시간 상기 엑스선 발생부는, 상기 표적물질에 충돌되어 발생한 상기 엑스선이 다시 충돌되어 상기 유기박막에 조사되도록 하기 위한 다른 표적물질을 더 포함함으로써, 상기 유기박막 표준시료 또는 상기 유기박막 대상시료 및 측정조건에 따라 최적의 각도를 결정하여 검출한계 및 분석성능을 향상시킬 수 있도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정장치 |
| 14 |
14 삭제 |
| 15 |
15 제 10항 또는 제 13항에 있어서, 상기 표적물질은 로듐, 구리, 몰리브덴, 은, 크롬, 텅스텐, 가돌리늄, 지르코늄, 게르마늄, 철, 및 티타늄으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나이며, 상기 방사성 동위원소는 55Fe, 238Pu, 244Cm, 109Cd, 125I, 241Am, 153Gd, 57Co, 133Ba, 137Cs으로 이루어진 군으로부터 선택된 어느 하나인 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정장치 |
| 16 |
16 삭제 |
| 17 |
17 삭제 |
| 18 |
18 제 10항 또는 제 13항에 있어서, 상기 콤프턴선의 검출은 기체비례계수기, 가이거(Geiger)계수기, 섬광계수기, 및 반도체 검출기 중 어느 하나 이상이 이용되는 것을 특징으로 하는 유기박막 두께 측정장치 |
| 지정국 정보가 없습니다 |
|---|
| 패밀리정보가 없습니다 |
|---|
| 국가 R&D 정보가 없습니다. |
|---|
- 본 등록정보는 참고용으로 법적증빙자료로 사용할 수 없습니다.
- 데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
- 법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.
| 특허 등록번호 | 10-1127863-0000 |
|---|
권리란
| 표시번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
출원 연월일 : 20091014 출원 번호 : 1020090097588 공고 연월일 : 20120321 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20120309 청구범위의 항수 : 8 유별 : G01B 15/02 발명의 명칭 : 유기박막 두께 측정방법 및 그 측정장치 존속기간(예정)만료일 : |
특허권자란
| 순위번호 | 사항 |
|---|---|
| 1 |
(권리자) 한국원자력연구원 대전광역시 유성구... |
등록료란
| 제 1 - 3 년분 | 금 액 | 178,500 원 | 2012년 03월 13일 | 납입 |
| 제 4 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2014년 12월 30일 | 납입 |
| 제 5 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2016년 01월 29일 | 납입 |
| 제 6 년분 | 금 액 | 151,200 원 | 2017년 01월 11일 | 납입 |
| 제 7 년분 | 금 액 | 282,800 원 | 2017년 12월 07일 | 납입 |
| 제 8 년분 | 금 액 | 202,000 원 | 2019년 01월 04일 | 납입 |
| 제 9 년분 | 금 액 | 202,000 원 | 2020년 01월 02일 | 납입 |
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| 번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | [특허출원]특허출원서 | 2009.10.14 | 수리 (Accepted) | 1-1-2009-0628765-74 |
| 2 | 선행기술조사의뢰서 | 2011.05.11 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
| 3 | 선행기술조사보고서 | 2011.06.16 | 수리 (Accepted) | 9-1-2011-0049844-14 |
| 4 | 의견제출통지서 | 2011.06.25 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0349322-45 |
| 5 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.08.25 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0662028-99 |
| 6 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.09.23 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0743469-32 |
| 7 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.10.21 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0825386-42 |
| 8 | [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2011.11.24 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-0931351-64 |
| 9 | 지정기간연장관련안내서 | 2011.11.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 1-5-2011-0111610-77 |
| 10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2011.12.26 | 수리 (Accepted) | 1-1-2011-1035945-25 |
| 11 | [명세서등 보정]보정서 | 2011.12.26 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2011-1035946-71 |
| 12 | 거절결정서 | 2011.12.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2011-0779091-12 |
| 13 | [법정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 | 2012.01.16 | 수리 (Accepted) | 7-1-2012-0002109-16 |
| 14 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2012.02.27 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0156893-10 |
| 15 | [명세서등 보정]보정서(재심사) | 2012.02.27 | 보정승인 (Acceptance of amendment) | 1-1-2012-0156894-55 |
| 16 | 등록결정서 | 2012.03.09 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2012-0141559-71 |
| 17 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.22 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5134067-95 |
| 18 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.09.16 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-5109542-64 |
| 기술번호 | KST2014055380 |
|---|---|
| 자료제공기관 | NTB |
| 기술공급기관 | 한국원자력연구원 |
| 기술명 | 유기박막 두께 측정방법 및 그 측정장치 |
| 기술개요 |
본 발명에 따른 유기박막 두께 측정방법은, 엑스선 발생부의 표적물질 또는 방사성 동위원소로부터 발생하는 엑스선을 유기박막에 조사하고, 상기 엑스선이 상기 유기박막으로부터 콤프턴 산란되는 콤프턴선을 이용하여 상기 유기박막의 두께를 결정한다.유기박막, 두께, 콤프턴선, 피크높이, 피크면적, 검량선 |
| 개발상태 | 기술개발완료 |
| 기술의 우수성 | |
| 응용분야 | 원자력 |
| 시장규모 및 동향 | |
| 희망거래유형 | 기술매매,라이센스, |
| 사업화적용실적 | |
| 도입시고려사항 |
| 과제고유번호 | 1345098694 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-2000103 |
| 연구과제명 | 분체공정진단용RT-PAT시스템개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국원자력연구원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200703~201202 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 개발연구 |
| 6T분류명 | NT(나노기술) |
| 과제고유번호 | 1345110351 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2007-2007041 |
| 연구과제명 | 원전수화학온라인감시체계구축을위한고온화학측정시스템개발 |
| 성과구분 | 출원 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국원자력연구원 |
| 성과제출연도 | 2009 |
| 연구기간 | 200704~201202 |
| 기여율 | 0.5 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
| 과제고유번호 | 1345189047 |
|---|---|
| 세부과제번호 | 2012M2A8A5025923 |
| 연구과제명 | 용융염내 악티나이드 화학연구 |
| 성과구분 | 등록 |
| 부처명 | 교육과학기술부 |
| 연구관리전문기관명 | 한국연구재단 |
| 연구주관기관명 | 한국원자력연구원 |
| 성과제출연도 | 2012 |
| 연구기간 | 201203~201702 |
| 기여율 | 1 |
| 연구개발단계명 | 기초연구 |
| 6T분류명 | ET(환경기술) |
특허성과
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