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1
공정챔버;
상기 공정챔버의 내부에 배치되어 상기 공정챔버를 제1통로를 갖는 제1챔버부와 제2통로를 갖는 제2챔버부로 구획하는 탄성부재;
상기 제1챔버부내에서 상기 탄성부재에 고정되는 스탬퍼;
상기 제1챔버부내에서 상기 스탬퍼에 대향되도록 배치되고, 기판이 탑재되는 탑재대; 및
상기 기판상의 수지를 경화시키는 경화유닛을 포함하는 임프린팅 장치
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2
제1항에 있어서,
상기 스탬퍼의 위치를 결정하는 위치결정수단을 포함하는 임프린팅 장치
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3
제2항에 있어서,
상기 위치결정수단은 상기 제2챔버부의 내부에 배치되어 상기 제2챔버부에 진공이 형성되는 경우 상기 스탬퍼의 일정거리 이상의 이동을 방지하는 스토퍼를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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4
제1항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 제2챔버부를 이루는 챔버벽상에 설치되는 서포트에 상기 제2챔버부의 기밀을 유지하도록 결합되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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5
제4항에 있어서,
상기 탄성부재는 상기 스탬퍼가 고정되는 플레이트와, 상기 플레이트로부터 연장되어 상기 서포트에 고정되고 소정의 주름을 갖는 벨로우즈부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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6
제1항에 있어서,
상기 탄성부재에는 상기 스탬퍼를 착탈이 가능하게 고정시키는 고정부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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7
제1항에 있어서,
상기 공정챔버는 상부챔버와 하부챔버로 구성되고, 상기 상부챔버와 상기 하부챔버와의 사이에는 기밀을 위한 실링부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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8
제1항에 있어서,
상기 경화유닛은 상기 공정챔버의 일측에 구비되어 빛을 발생시키는 광원을 포함하여 구성되고, 상기 기판 및 상기 탑재대는 광원에서 발생한 빛이 상기 수지로 전달될 수 있는 빛이 통과되는 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치
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9
공정챔버와, 상기 공정챔버의 내부에 배치되어 상기 공정챔버를 제1챔버부와 제2챔버부로 구획하는 탄성부재와, 상기 제1챔버부내에서 상기 탄성부재에 고정되는 스탬퍼와, 상기 제1챔버부내에서 상기 스탬퍼에 대향되도록 배치되어 기판이 탑재되는 탑재대 및 상기 기판상의 수지를 경화시키는 경화유닛을 포함하는 임프린팅 장치에 있어서,
상기 제2챔버부의 내부를 진공으로 형성하는 제1단계;
상기 제1챔버부의 내부를 진공으로 형성하는 제2단계;
상기 제2챔버부의 내부의 진공을 해제하여, 상기 스탬퍼를 상기 기판쪽으로 이동시켜 상기 기판상의 수지를 가압하는 제3단계;
상기 기판상의 수지를 경화시키는 제4단계와; 및
상기 제1챔버부의 진공을 해제시켜 상기 스탬퍼를 상기 기판으로부터 이격시키는 제5단계를 포함하는 임프린팅 방법
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10
제9항에 있어서,
상기 공정챔버는 상부챔버와 하부챔버로 구성되고,
상기 제1단계와 상기 제2단계의 사이에는 상기 제1단계의 수행 전에 분리된 상부챔버와 하부챔버를 결합시키는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법
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11
제9항에 있어서,
상기 제3단계와 상기 제4단계의 사이에서 상기 제2챔버부의 제2통로를 통하여 상기 제2챔버부를 가압하는 단계와, 상기 제4단계와 상기 제5단계의 사이에서 상기 제2챔버부의 가압을 해제하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
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12
제9항에 있어서,
상기 제4단계는 상기 기판상의 수지에 빛을 조사하여 상기 수지를 경화시키는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
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13
제9항에 있어서,
상기 제5단계는 제2챔버부의 내부를 진공으로 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 방법
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14
제9항에 있어서,
상기 공정챔버는 상부챔버와 하부챔버로 구성되고,
상기 제5단계 후에 상부챔버와 하부챔버를 분리하는 단계를 더 포함하는 임프린팅 방법
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