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1
지지부와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제1 링크와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제2 링크와,
일단부는 상기 제1 링크와 결합하고, 타단부는 상기 지지부에 고정되어 있는 제1 액츄에이터와,
일단부는 상기 제2 링크와 결합하고, 타단부는 상기 지지부에 고정되어 있는 제2 액츄에이터와,
일단부는 상기 제1 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있고, 타단부는 상기 제2 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있는 가동부를 포함하는,
나노스테이지
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| 2 |
2
지지부와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제1 링크와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제2 링크와,
일단부는 상기 제1 링크와 결합하고, 타단부는 상기 제2 링크와 결합되어 있는 액츄에이터와,
일단부는 상기 제1 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있고, 타단부는 상기 제2 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있는 가동부를 포함하는,
나노스테이지
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| 3 |
3
지지부와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제1 링크와,
한쪽 끝단이 지지부에 회전가능하게 결합되어 있는 제2 링크와,
일단부는 상기 제1 링크와 결합하고, 타단부는 상기 지지부에 고정되어 있는 액츄에이터와,
일단부는 상기 제1 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있고, 타단부는 상기 제2 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있는 가동부를 포함하는,
나노스테이지
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| 4 |
4
청구항 1항 내지 3항 중 어느 하나에 있어서,
상기 가동부는,
한쪽 끝단이 상기 제1 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있는 제3 링크와,
한쪽 끝단이 상기 제2 링크의 다른 끝단과 회전가능하게 결합되어 있는 제4 링크와,
양끝단이 상기 제3 링크 및 제4 링크와 회전가능하게 결합되어 있는 제5 링크를 포함하는,
나노스테이지
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| 5 |
5
청구항 1항 내지 3항 중 어느 하나에 있어서,
상기 제1 링크 및 제2 링크는 상기 가동부와 일체로 형성되어 있고,
각각의 링크의 연결부의 폭은 링크의 다른 부분의 폭보다 작게 형성되어 링크 간의 회전이 가능한,
나노스테이지
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| 6 |
6
청구항 1항 또는 청구항 3항에 있어서,
상기 지지부는 상기 가동부 측으로 돌출한 돌출부를 더 포함하고,
상기 액츄에이터의 타단부는 상기 돌출부에 고정되어 있는,
나노스테이지
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| 7 |
7
청구항 1항 또는 청구항 3항에 있어서,
상기 액츄에이터는 전기 신호를 입력받아 기계적 변형을 일으키는 압전 액츄에이터인,
나노스테이지
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