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폴리카보네이트(PC: Poly carbonate), ABS(Acrylonitrile-Butadiene-Styrene), 아크릴(Acrylic), 폴리에틸렌(PET: polyethylene terephthalate), 폴리스틸렌(polystyrene), 폴리이미드(Polyimide) 중 어느 하나 이상으로 이루어져 유연성을 가지는 고분자판과,
TiO2, ZnO, BN, SiAlON, HAP (hydroxyapatite), ZrO2, AlN, Al2O3, SiC 중 하나 이상으로 형성되고, 5㎛이상 100㎛이하의 입경과 5 내지 15의 종횡비를 가지는 판상의 세라믹입자를 상기 고분자판 일측에 상온 진공 분말 분사법(Room Temperature Powder Spary in Vacuum)으로 진공 증착에 의해 앵커링(anchoring)하여 형성된 세라믹막을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재
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제 1 항에 있어서, 상기 세라믹입자는 20㎛의 평균입경을 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재
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TiO2, ZnO, BN, SiAlON, HAP (hydroxyapatite), ZrO2, AlN, Al2O3, SiC 중 하나 이상으로 형성되고, 5㎛이상 100㎛이하의 입경과 5 내지 15의 종횡비를 가지는 판상의 세라믹입자를 혼합용기에 장입하고, 유연성을 가지는 고분자판을 스테이지에 고정하는 재료준비단계와,
상기 스테이지가 설치된 진공챔버 내부를 1torr 이하의 진공 분위기로 형성하는 진공형성단계와,
상기 혼합용기 내부에 캐리어가스를 공급하여 세라믹입자와 캐리어가스를 혼합하는 가스공급단계와,
상기 혼합용기 내부에서 혼합된 캐리어가스 및 세라믹입자를 이송시켜 상기 고분자판에 분사하는 입자분사단계와,
상기 고분자판에 증착되지 않고 비산된 세라믹입자를 회수하는 입자회수단계와,
상기 스테이지를 이송하여 고분자판에 세라믹막을 형성하는 세라믹막형성단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재 제조방법
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제 5 항에 있어서, 상기 입자분사단계에서,
상기 혼합용기 및 진공챔버 내부는 동일한 진공도를 갖는 것을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 재료준비단계에서,
상기 고분자판은, 폴리카보네이트(PC: Poly carbonate), ABS(Acrylonitrile-Butadiene-Styrene), 아크릴(Acrylic), 폴리에틸렌(PET: polyethylene terephthalate), 폴리스틸렌(polystyrene), 폴리이미드(Polyimide) 중 어느 하나가 적용됨을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재 제조방법
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제 6 항에 있어서, 상기 입자분사단계에서,
캐리어가스에 의해 혼합용기 외부로 이송되는 세라믹입자는 진공챔버와 동일한 진공도를 가지는 이송관을 경유한 후 분사되는 것을 특징으로 하는 세라믹막이 구비된 유연성판재 제조방법
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