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화학적인 방법으로 나노점이 균일하게 분산된 용액을 합성하는 공정;
상기 합성된 나노점이 분산된 용액을 초전도체의 유기금속증착법(metal-organic deposition)의 예비 전구용액과 혼합하여, 나노점이 분산된 유기금속증착법 전구용액을 제조하는 공정; 그리고
상기 유기금속증착법 전구용액을 기판 위에 코팅하고, 열처리하여 초전도 박막을 형성하는 공정을 포함하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 나노점이 균일하게 분산된 용액을 합성하는 공정은 금속 전구체를 용매에 용해시킨 후, 첨가제를 적용하여 반응성을 제어하고, 수분을 첨가하여 가수분해 및 축합반응을 유도하는 공정을 포함하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 2에 있어서,
상기 금속 전구체는 금속 알콕사이드, 금속 수산화물, 금속 질산염, 또는 금속 유기산염 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 2에 있어서,
상기 용매는 알코올, 에스테르계 액체, 케톤류 및 이들의 혼합물 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 2에 있어서,
상기 첨가제는 디케톤(diketone)류, 디알코올(dialcohol)류, 카르복시산(carboxylic)류, 또는 아민(amine)류 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 1에 있어서,
상기 초전도체의 유기금속증착법의 예비 전구용액은 금속 삼불화 아세트산염, 금속 카르복시산염, 또는 금속 베타 디케톤네이트(beta diketonate)로 이루어진 금속염 중 어느 하나를 전구체로 하여 제조되는 것을 특징으로 하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 6에 있어서,
상기 금속염을 구성하는 금속은 희토류 원소, 알칼리 토금속 원소, 또는 전이금속 원소 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 초전도 박막의 제조방법
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청구항 1의 방법으로 제조된 초전도 박막
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