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수직 정렬된 메조포러스 박막 및 그 제조 방법, 그 촉매적 응용

  • 기술번호 : KST2014055894
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단일 고분자 전구체로부터 자리-선택적으로 금속 증착된 수직 정렬된 메조포러스 실리케이트 필름 및 그 강한 촉매적 응용에 관한 것이다. 대면적의 Si 웨이퍼(2 x 3 ㎠) 에서 높은 열적 및 화학적 내성을 가지는 수직 정렬된 메조포러스 실리케이트 박막을 제조하기 위해서 혁신적인 단일전구체 접근을 보고한다. 복잡하게 디자인된 화학적으로 쪼갤수 있는 디설파이드 브리지를 가지는 유기-무기 블록공중합체 (BCP) PEO-ss-PVCSZ (폴리에티렌옥사이드-ss-폴리비닐사이클릭실라진)가, 배향된 실리케이트 나노공극 필름을 위한 단일전구체로서, 새롭게 합성되었으며, 용매 어닐링 자가 조립 공정과 이어지는 블럭 분열 처리 및 실온에서 폴리머로부터 규산상(siliceous phase )으로의 단순한 가수 분해 전환 공정을 통해서 직접적으로 기판상에 메조구조체를 형성한다.
Int. CL B01J 37/02 (2006.01.01) B01J 35/10 (2006.01.01) B01J 23/52 (2006.01.01) B01J 23/44 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020130037072 (2013.04.04)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2073056-0000 (2020.01.29)
공개번호/일자 10-2014-0099419 (2014.08.12) 문서열기
공고번호/일자 (20200204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020130012098   |   2013.02.02
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.02.01)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김동표 대한민국 경북 포항시 남구
2 코타가루 칙차링가아바사바라주 인도 경북 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박상훈 대한민국 서울특별시 영등포구 선유로 *길 **, **층 ****호 (문래동*가, 문래 sk v*센터)(새생명특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2013.04.04 수리 (Accepted) 1-1-2013-0296011-52
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2013.06.13 수리 (Accepted) 4-1-2013-0025573-58
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.02.25 수리 (Accepted) 4-1-2014-5024386-11
4 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)		 2018.02.01 수리 (Accepted) 1-1-2018-0115273-35
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.05.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0389019-39
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.30 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0783249-18
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0783217-68
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
11 등록결정서
Decision to grant		 2019.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0928918-14
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번호 청구항
1 1
디설파이드 브릿지로 다른 블록에 연결되고, 세라믹으로 변환되는 적어도 하나의 무기 블록을 포함하는 블록 공중합체를 자가 조립시키는 단계; 상기 디설파이드 브릿지를 분열시키고, 무기 블록을 제외한 부분을 제거하는 단계; 및 상기 무기 블록을 세라믹상으로 변환시키는 단계를 포함하는 메조포어 세라믹 박막의 제조 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 무기 블록은 폴리카보실레인(polycarbosilane)블록, 폴리실라잔(polysilazane)블록, 폴리보라자인(polyborazine)블록, 폴리실새스실록산(polysilsessiloxane)블록, 알릴퍼히드로폴리카보실레인블록, 폴리비닐실라잔블록, 폴리비닐사이클릭실라진블록, 폴리실란(-(R2Si)n-), 폴리실록산(-(R2SiO)n-), 알루미늄아미드(Aluminum amide(=AlNR-)n), 폴리타이타늄이미드(poly titanium imide(=Ti(NR2)-)에서 선택되며, 여기서 R은 탄소수 1-8의 알킬인 것을 특징으로 하는 메조포어 세라믹 박막의 제조 방법
3 3
제1항에 있어서, 상기 메조포어는 수직으로 나란하게 형성된 실린더형인 것을 특징으로 하는 방법
4 4
제1항에 있어서, 상기 블록 공중합체는 디설파이드 브릿지로 연결된 유기-무기 블록 공중합체인 것을 특징으로 하는 방법
5 5
제4항에 있어서, 상기 유기-무기 블록 공중합체는 디설파이드로 브릿지된 폴리에틸렌옥사이드-폴리비닐사이클릭실라진인 것을 특징으로 하는 방법
6 6
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 블록 공중합체는 용매 어닐링을 이용하여 자가조립되는 것을 특징으로 하는 방법
7 7
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 무기 블록은 가수분해에 의해서 세라믹상으로 변환되는 것을 특징으로 하는 방법
8 8
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9 9
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 메조포어에 금속을 담지시켜 반응성 박막을 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
10 10
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 박막은 전도성 또는 비전도성 기판에 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
11 11
디설파이드 브릿지로 연결되고 세라믹으로 변환되는 적어도 하나의 무기 블록과 유기블록을 포함하는 블록 공중합체를 유기 블록이 2-50 ㎚의 수직하는 실린더상을 이루도록 자가조립하는 단계; 및상기 디설파이드 브릿지를 분열시켜 유기 블록을 제거하여 메조포어를 형성하는 단계;를 포함하는 메조포어 박막의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 포항공과대학교 산학협력단 리더연구자지원사업 미세유체응용화학연구단