| 1 |
1
무전극 수정 진동자 표면에 국소적으로 코팅된 무게가 다른 여러 개의 패턴들과, 상기 패턴들을 진동시키는 외부 전기장을 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 2 |
2
제1항에 있어서, 상기 패턴들의 무게가 무거울수록 낮은 주파수를 나타내는 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 패턴들은 나노 구조체를 포함하는 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 4 |
4
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 패턴들은 수정 진동자의 일면에 형성된 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 패턴들은 수정진동자의 표면에서 서로 다른 길이로 성장한 나노 막대들인 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 6 |
6
제4항에 있어서, 상기 패턴들이 형성되지 않는 수정 진동자의 다른 일면에 하나의 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 멀티채널 수정 진동자 미세저울 센서
|
| 7 |
7
무전극 수정 진동자 표면에 국소적으로 코팅된 무게가 다른 여러개의 패턴들이 형성된 무전극 수정 진동자를 외부 전기장을 이용하여 진동시키는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 질량 변화를 측정하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서, 패턴들의 무게를 증가시켜 고유진동수를 낮추는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 10 |
10
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 패턴들은 수정 진동자의 일면에 형성된 것을 특징으로 하는 방법
|
| 11 |
11
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 외부 전기장은 적어도 하나의 전극이 수정 진동자 표면에서 이격되어 전극쌍에 의해서 형성되는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 12 |
12
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 패턴들은 수정진동자의 표면에서 성장한 나노 막대들인 것을 특징으로 하는 방법
|
| 13 |
13
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 패턴들위에 프로브를 형성하거나 항원 또는 항체를 형성하는 것을 특징으로 하는 방법
|
| 14 |
14
표면에 국소적으로 코팅된 무게가 다른 여러 개의 패턴들이 형성된 무전극 수정 진동자
|
| 15 |
15
제14항에 있어서, 상기 패턴들은 나노 막대로 이루어진 것을 특징으로 하는 무전극 수정 진동자
|
| 16 |
16
제15항에 있어서, 상기 나노 막대는 ZnO 나노 막대인 것을 특징으로 하는 무전극 수정 진동자
|
| 17 |
17
제1항 또는 제2항에 따른 멀티 채널 수정 진동자 미세저울 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자코 시스템
|
